[發明專利]用于封閉CVD反應器的內殼的裝載開口的封閉元件

在審

• 申請號: 201880077822.6
• 申請日: 2018-10-02
• 公開（公告）號: CN111417458A
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: M.科爾伯格;F.魯達伊威特;M.普菲斯特雷爾
• 申請（專利權）人: 艾克斯特朗歐洲公司
• 主分類號: B01J3/03
• 分類號: B01J3/03;C23C16/44;H01L21/67;F16K51/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 李萌

1.一種CVD反應器，其具有氣密且能抽真空的反應器殼體(1)和布置在所述反應器殼體(1)中的內殼(2)，所述內殼具有用于輸入過程氣體的器件(3、4)和用于對在所述內殼中借助于過程氣體待處理的基材(6)進行固持的器件(5)，其中，所述內殼(2)具有能被封閉元件(10)的密封元件(11)封閉的裝載開口(7)，并且所述密封元件(11)在其封閉位置中以周圍的密封區(10')貼靠于在內殼(2)的外側上圍繞裝載開口(7)的配對密封區(7')上，其特征在于，所述密封元件(11)沿空間軸線(X、Y、Z)之一可彈性偏離地固定在支架上或者圍繞多條空間軸線(X、Y、Z)傾斜度可調地和/或可樞轉運動地固定。

2.根據權利要求1所述的CVD反應器，其特征在于，所述密封元件(11)圍繞至少兩條空間軸線(X、Y、Z)和/或圍繞三條空間軸線(X、Y、Z)至少傾斜度可調地和/或可樞轉運動地固定在所述支架(12)上。

3.根據前述權利要求中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，設有彈簧和/或固定裝置(30)的至少一個第一彈性元件(38)，所述第一彈性元件(38)在所述封閉位置中產生密封力，通過該密封力使所述密封區(10')面狀地貼靠在所述配對密封區(7')上。

4.根據權利要求3所述的CVD反應器，其特征在于，所述密封力是由第一彈性元件(38)產生的第一作用力與由第二彈性元件(39)產生的第二作用力之和，其中，第一作用力與第二作用力的方向相反，并且兩個彈性元件(38、39)在中間位置中相對彼此預張緊。

5.根據前述權利要求中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，所述裝載開口(7)布置在內殼(2)的彎曲區段中，并且所述密封元件(11)具有彎曲的密封面，所述密封面的邊緣構成所述密封區(10')，和/或所述裝載開口(7)配屬于內殼(2)的圓柱形壁，其中，所述支架(12)能在與圓柱形的殼體壁的輪廓軸線相垂直的平面內移動。

6.根據權利要求3所述的CVD反應器，其特征在于，所述彈簧和/或固定裝置(30)具有第二彈性元件(39)，所述第二彈性元件(39)的彈力方向反向于第一彈性元件(38)的彈力方向。

7.根據權利要求3至6中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，所述彈簧和/或固定裝置(30)具有頭部(31')和桿部(31)，其中，所述頭部(31')固定在保持件(15)上，并且所述桿部(31)插在關節頭(14)的固定穿孔(34)中，并且所述彈性元件(38、39)支撐在相互背離的、尤其由所述固定穿孔(34)的邊緣構成的支撐面(34'、34)上，其中尤其規定，第一彈性元件(38)支撐在所述保持件(15)上，并且第二彈性元件(39)支撐在所述桿部(31)上并且尤其支撐在與桿部(31)連接的主體、例如滑動套(35)上。

8.根據前述權利要求中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，設有支承軸(18)，所述封閉元件(10)通過所述支承軸(18)能圍繞X軸樞轉。

9.根據前述權利要求中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，設有樞轉限制件(24、25)，通過所述樞轉限制件(24、25)能夠限制所述封閉元件(10)圍繞X軸的樞轉角，和/或通過所述樞轉限制件(24、25)能夠將所述封閉元件(10)彈性地可調節地固定在初始位置中。

10.根據前述權利要求中任一項所述的CVD反應器，其特征在于，設有用于調節封閉元件(10)圍繞Y軸的傾斜位置的調節件(20)，其中尤其規定，所述調節件(20)是調節螺釘，所述調節螺釘支撐在所述支承軸(18)的端部區段上。

11.根據權利要求10所述的CVD反應器，其特征在于，所述調節件(20)在空間上配有彈性的壓緊元件(21、22)，其中尤其規定，彈性的壓緊元件(21、22)相對于所述支承軸(18)與所述調節件(20)相對置并且允許對封閉元件(10)圍繞Y軸的傾斜位置的彈性調節。