[發(fā)明專利]紅外裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880074847.0
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號: CN111373230A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: N·扎克;M·維因格;N·戴克斯;S·拉布;T·于林格
• 申請（專利權(quán)）人: 盛思銳股份公司
• 主分類號: G01J5/08
• 分類號: G01J5/08;G01J3/10;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/20;H01L27/144;H01L31/18
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 石海霞;金鵬

一種紅外裝置，其包括基板(1)。由基板(1)來支撐用于發(fā)射紅外輻射的構(gòu)造(3)。該構(gòu)造(3)在介質(zhì)層(34，35)之間包括厚度小于50nm的導(dǎo)電層布置(31)。此外，由基板(1)來支撐加熱器(7)，其被布置為用于加熱構(gòu)造(3)，以發(fā)射紅外輻射。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種紅外裝置，并且涉及一種用于制造紅外裝置的方法。

背景技術(shù)

基于紅外輻射的傳統(tǒng)氣體傳感器尺寸大，因此不適于集成到例如移動電子器件中。因此，期望提供一種特別能夠用于氣體感測應(yīng)用的小規(guī)模紅外裝置。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種包括基板的紅外裝置。構(gòu)造由基板來支撐，即，構(gòu)造被布置在基板上或基板中。該構(gòu)造適于發(fā)射紅外輻射。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種包括基板的紅外裝置。構(gòu)造由基板來支撐，即，構(gòu)造布置在基板上或基板中。該構(gòu)造適于吸收紅外輻射。

為此，該構(gòu)造包括厚度小于50nm的導(dǎo)電層布置。該導(dǎo)電層布置被布置在介質(zhì)層之間。

該導(dǎo)電層布置可包括一個或多個導(dǎo)電層，而整個布置的厚度被限制為50nm或更小。在優(yōu)選實施例中，導(dǎo)電層布置的厚度小于40nm，在不同實施例中，其小于30nm，并且在另一實施例中，其小于20nm。

在介質(zhì)層之間形成導(dǎo)電層布置優(yōu)選地使得導(dǎo)電層布置被夾在介質(zhì)層之間，即與介質(zhì)層直接接觸。因此，優(yōu)選地，在導(dǎo)電層布置的上層的頂部上設(shè)置介質(zhì)層并與其接觸，而在導(dǎo)電層布置的底層的下面設(shè)置另一介質(zhì)層并與其接觸。在導(dǎo)電層布置僅由單個層構(gòu)成的情況下，介質(zhì)層與其頂表面和底表面接觸。

在該紅外裝置代表紅外檢測器的情況下，入射的紅外輻射被包括導(dǎo)電層布置的構(gòu)造吸收，該導(dǎo)電層布置優(yōu)選顯著地有助于吸收。由所吸收的紅外輻射引起的溫度增加會被該裝置的熱傳感器感測到。

在該紅外裝置代表紅外發(fā)射器的情況下，該裝置的加熱器產(chǎn)生的熱量會激發(fā)包括導(dǎo)電層布置的構(gòu)造發(fā)射紅外輻射。

假定在紅外檢測器的情況下，入射的紅外輻射在該構(gòu)造中引起駐波，并且特別地引起在該構(gòu)造的外表面之間的駐波。導(dǎo)電層布置具有增強(qiáng)吸收的厚度，假定對于具有更大厚度的層布置，可以認(rèn)為是反射而不是吸收。雖然導(dǎo)電層布置的材料可以被認(rèn)為是寬帶紅外吸收體，但是層布置的厚度、其在構(gòu)造中的豎直布置以及優(yōu)選地構(gòu)造的厚度和/或?qū)щ妼硬贾玫捻敳可系慕橘|(zhì)層的厚度可能對特定波長范圍/波段(band)有影響，檢測器對該特定波長范圍/頻帶比對其它波長范圍更敏感。因此，雖然該構(gòu)造可以暴露于寬帶紅外輻射，但是優(yōu)選地，僅限定波段中的紅外輻射可以被吸收并且被轉(zhuǎn)換為由熱傳感器測得的熱量。在通過加熱器來加熱該構(gòu)造的情況下，該構(gòu)造優(yōu)選地僅在限定波段中發(fā)射紅外輻射。