[發明專利]三氯硅烷的制造方法有效
| 申請號： | 201880074129.3 | 申請日： | 2018-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN111629997B | 公開（公告）日： | 2023-03-24 |
| 發明（設計）人： | 弘田賢次;荻原克彌 | 申請（專利權）人： | 株式會社德山 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;B01J8/24 |
| 代理公司： | 北京信諾創成知識產權代理有限公司 11728 | 代理人： | 劉金峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種三氯硅烷的制造方法，其特征在于，包括：
冷卻工序，將從生成所述三氯硅烷的流化床式反應裝置中排出的包含所述三氯硅烷的廢氣加以冷卻；
在所述冷卻工序中，
通過在用以從所述流化床式反應裝置中排出所述廢氣的配管內，以與流動的廢氣接觸的側壁的表面的溫度成為110℃以上的方式，在形成于所述側壁的內部的空間中流通流體，從而將所述廢氣加以冷卻。
2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，
在所述冷卻工序中，以所述側壁的最低的部位的表面溫度成為小于125℃的方式，在所述空間中流通所述流體。
3.根據權利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，
所述流體為30℃以上的空氣。
4.根據權利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，
所述流體為100℃以上的高溫水。
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