[發(fā)明專利]檢測裝置以及生產(chǎn)電子裝置的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880074043.0
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN111356895A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 今井泰德;佐藤康之
• 申請（專利權(quán)）人: 索尼公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01N21/21;G01N21/88
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 程晨

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的檢測裝置包括成像單元、照明單元、偏振控制單元以及生成單元。成像單元基于入射光生成圖像數(shù)據(jù)。照明單元用線性偏振光照明對象。偏振控制單元控制朝著成像單元行進(jìn)的要檢測的光的偏振狀態(tài)。生成單元基于由成像單元已經(jīng)生成的針對偏振狀態(tài)已經(jīng)被控制的要檢測的光的圖像數(shù)據(jù)來生成關(guān)于要檢測的光的線性偏振度的信息。

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)涉及可適用于例如電子裝置的組裝和檢查的檢測裝置以及生產(chǎn)電子裝置的方法。

背景技術(shù)

專利文獻(xiàn)1公開了一種用于正確地檢查膜狀透明板等的外形的視覺檢查裝置。在該視覺檢查裝置中，第一和第二偏振板部署在光源與成像裝置之間的光路上，以具有正交尼科爾關(guān)系(crossed Nicols relationship)。然后，將檢查目標(biāo)部署在第一和第二偏振板之間。作為結(jié)果，在未通過檢查目標(biāo)的光的量與通過檢查目標(biāo)的光的量之間產(chǎn)生差異，并且生成背景部分暗而檢查目標(biāo)亮的灰度圖像。通過將該灰度圖像二值化，可以正確地檢查檢查目標(biāo)的外形(參見例如專利文獻(xiàn)1的說明書的[0009]至[0014]以及圖1至圖3)。

引文列表

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利申請公開號1992-236344

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

如上所述，需要一種能夠高精度地檢測具有透明性的透明對象的外形等的技術(shù)。

鑒于上述情形，本技術(shù)的目的是提供一種能夠高精度地檢測即使是具有透明性的對象的外形等的檢測裝置以及生產(chǎn)電子裝置的方法。

問題的解決方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本技術(shù)的實(shí)施例的檢測裝置包括：成像單元；照明單元；偏振控制單元；以及生成單元。

成像單元基于入射光生成圖像數(shù)據(jù)。

照明單元用線性偏振光照明對象。

偏振控制單元控制要檢測的光的偏振狀態(tài)，要檢測的光朝著成像單元行進(jìn)。

生成單元基于關(guān)于要檢測的光的圖像數(shù)據(jù)來生成關(guān)于要檢測的光的線性偏振度的信息，要檢測的光的偏振狀態(tài)已經(jīng)被控制，關(guān)于要檢測的光的圖像數(shù)據(jù)由成像單元生成。

在該檢測裝置中，用線性偏振光照明對象，并且控制要檢測的光的偏振狀態(tài)，要檢測的光朝著成像單元行進(jìn)。另外，基于關(guān)于要檢測的光的圖像數(shù)據(jù)來生成關(guān)于要檢測的光的線性偏振度的信息，要檢測的光的偏振狀態(tài)已經(jīng)被控制，關(guān)于要檢測的光的圖像數(shù)據(jù)由成像單元生成。通過使用關(guān)于線性偏振度的信息，可以高精度地檢測即使是具有透明性的對象的外形等。

關(guān)于線性偏振度的信息可以包括要檢測的光中包括的線性偏振光分量的強(qiáng)度的最大值、要檢測的光中包括的線性偏振光分量的強(qiáng)度的最小值或者線性偏振度中的至少一個(gè)。

成像單元可以包括各自生成像素?cái)?shù)據(jù)的多個(gè)像素。在這種情況下，偏振控制單元可以將多個(gè)像素分類為多個(gè)組，并且針對分類了的組中的每個(gè)組控制要檢測的光的偏振狀態(tài)，多個(gè)組中的每個(gè)組包括預(yù)定數(shù)量的像素。另外，生成單元可以針對分類了的組中的每個(gè)組生成關(guān)于線性偏振度的信息。

偏振控制單元可以包括多個(gè)偏振設(shè)備，所述偏振設(shè)備針對分類了的組中的每個(gè)組與所述預(yù)定數(shù)量的像素對應(yīng)地部署，并且控制朝著所述預(yù)定數(shù)量的像素中對應(yīng)的一個(gè)像素行進(jìn)的要檢測的光的偏振狀態(tài)。

多個(gè)偏振設(shè)備中的每個(gè)偏振設(shè)備可以關(guān)于入射光提取具有不同偏振方向的線性偏振光分量。

所述預(yù)定數(shù)量的像素可以包括在彼此正交的方向上二乘二地布置的第一至第四像素。在這種情況下，多個(gè)偏振設(shè)備可以包括與第一至第四像素對應(yīng)地布置的第一至第四偏振設(shè)備。