[發明專利]檢測裝置以及生產電子裝置的方法

在審

• 申請號: 201880074043.0
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN111356895A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 今井泰德;佐藤康之
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01N21/21;G01N21/88
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 程晨

1.一種檢測裝置，包括：

成像單元，基于入射光生成圖像數據；

照明單元，用線性偏振光照明對象；

偏振控制單元，控制要檢測的光的偏振狀態，所述要檢測的光朝著所述成像單元行進；以及

生成單元，基于關于所述要檢測的光的圖像數據來生成關于所述要檢測的光的線性偏振度的信息，所述要檢測的光的偏振狀態已經被控制，關于所述要檢測的光的圖像數據由所述成像單元生成。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中，

所述關于線性偏振度的信息包括所述要檢測的光中包括的線性偏振光分量的強度的最大值、所述要檢測的光中包括的線性偏振光分量的強度的最小值或者所述線性偏振度中的至少一個。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中，

所述成像單元包括各自生成像素數據的多個像素，

所述偏振控制單元將所述多個像素分類為多個組，并且針對分類了的組中的每個組控制所述要檢測的光的偏振狀態，所述多個組中的每個組包括預定數量的像素，并且

所述生成單元針對所述分類了的組中的每個組生成所述關于線性偏振度的信息。

4.根據權利要求3所述的檢測裝置，其中，

所述偏振控制單元包括多個偏振設備，所述偏振設備針對所述分類了的組中的每個組與所述預定數量的像素對應地部署，并且控制朝著所述預定數量的像素中的對應的一個像素行進的所述要檢測的光的偏振狀態。

5.根據權利要求4所述的檢測裝置，其中，

所述多個偏振設備中的每個偏振設備關于入射光提取具有不同偏振方向的線性偏振光分量。

6.根據權利要求5所述的檢測裝置，其中，

所述預定數量的像素包括在彼此正交的方向上二乘二地布置的第一至第四像素，并且

所述多個偏振設備包括與所述第一至第四像素對應地布置的第一至第四偏振設備。

7.根據權利要求6所述的檢測裝置，其中，

所述第一偏振設備從所述要檢測的光中提取具有第一偏振方向的線性偏振光分量，

所述第二偏振設備從所述要檢測的光中提取具有第二偏振方向的線性偏振光分量，該第二偏振方向是通過將所述第一偏振方向在預定方向上旋轉大約45°而獲得的；

所述第三偏振設備從所述要檢測的光中提取具有第三偏振方向的線性偏振光分量，該第三偏振方向是通過將所述第一偏振方向在所述預定方向上旋轉大約90°而獲得的；并且

所述第四偏振設備從所述要檢測的光中提取具有第四偏振方向的線性偏振光分量，該第四偏振方向是通過將所述第一偏振方向在所述預定方向上旋轉大約135°而獲得的。

8.根據權利要求6所述的檢測裝置，其中，

所述生成單元基于由所述第一至第四像素分別生成的第一至第四像素數據來生成針對所述組中的每個組的所述關于線性偏振度的信息。

9.根據權利要求8所述的檢測裝置，其中，

所述生成單元基于所述第一至第四像素數據，通過執行使用預定的周期函數的擬合處理來生成所述關于線性偏振度的信息。

10.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中，

所述偏振控制單元包括部署在所述成像單元的光軸上的偏振設備，以及能夠使所述偏振設備以所述成像單元的光軸為基準相對于所述成像單元旋轉的旋轉機構單元。

11.根據權利要求10所述的檢測裝置，其中，

所述旋轉機構單元使所述偏振設備以預定的旋轉位置為基準相對旋轉到大約0°、大約45°、大約90°和大約135°的旋轉位置，并且

所述生成單元基于根據所述偏振設備的旋轉而生成的多條圖像數據來生成所述關于線性偏振度的信息。