[發明專利]封端單元

有效

• 申請號: 201880070999.3
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN111295824B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: D·弗德椰克
• 申請（專利權）人: 阿努米克斯私營有限責任公司
• 主分類號: H02K11/01
• 分類號: H02K11/01;H01J37/34;C23C14/34;C23C14/35
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 秦晨

1.一種用于沉積系統的封端單元(300)，所述封端單元包括用于實現功能的設備(100)，所述設備包括：

至少一個包括電工鋼的部件(110)，

其中所述設備是包括定子(320)和轉子(310)的電馬達，并且其中定子(320)和/或轉子(310)與所述至少一個包括電工鋼的部件(110)對應，并且其中所述馬達被配置為使得可以向所述馬達施加電流，從而產生貢獻磁場，所述貢獻磁場產生定子和轉子之間的扭力，使得所述馬達被安裝時可以旋轉靶(350)，以及

其特征在于所述設備(100)包括電流傳輸裝置(140)，所述電流傳輸裝置(140)被配置為使得所述電流傳輸裝置穿過所述至少一個包括電工鋼的部件(110)的圓周，并且所述電流傳輸裝置被配置為當其被安裝在封端單元上時向靶傳輸功率，

并且其中所述設備包括至少一個導電屏蔽元件(120)，其被配置為使得

-如果電流要被施加到產生對設備的功能沒有貢獻的非貢獻磁場的所述電流傳輸裝置，通過所述至少一個導電屏蔽元件(120)的電流產生抵消所述非貢獻磁場的磁場。

2.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個導電屏蔽元件被配置為使得

當要施加相鄰的變化電流時，該相鄰的變化電流產生通過電工鋼的對設備的功能沒有貢獻的變化的非貢獻磁場，

則該相鄰的變化的非貢獻磁場產生通過所述至少一個導電屏蔽元件的凈磁通量，

并且該相鄰的變化電流產生通過所述至少一個導電屏蔽元件的電流，該電流產生在所述至少一個包括電工鋼的部件(110)中抵消非貢獻磁場的磁場。

3.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個包括電工鋼的部件(110)適于引導對所述設備(100)的功能有貢獻的貢獻磁場，其中所述至少一個導電屏蔽元件被定位成使得基本上沒有通過所述至少一個導電屏蔽元件的凈磁通量源自于所述貢獻磁場。

4.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述電流傳輸裝置(140)被配置為使得所述電流傳輸裝置的返回路徑在所述至少一個包括電工鋼的部件(110)的外部。

5.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個包括電工鋼的部件(110)具有環形形狀，并且其中所述至少一個導電屏蔽元件是在所述至少一個包括電工鋼的部件周圍基本上環形纏繞的屏蔽繞組。

6.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個導電屏蔽元件是短路的屏蔽繞組(120)。

7.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個導電屏蔽元件是通過阻抗加載的屏蔽繞組。

8.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述至少一個導電屏蔽元件陷入和/或嵌入在所述至少一個包括電工鋼的部件中。

9.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述設備(100)包括用于產生旋轉運動的驅動裝置。

10.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述設備(100)包括軸承裝置。

11.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述設備(100)包括密封裝置。

12.根據權利要求1所述的封端單元(300)，其中所述電流傳輸裝置(140)包括穿過所述設備的中心軸。

13.根據權利要求1所述的封端單元(300)，所述設備包括控制器，所述控制器適于施加通過所述至少一個導電屏蔽元件(120)的DC電流以產生非貢獻磁場。