[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880067866.0
• 申請(qǐng)日: 2018-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN111213249B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: I.坦格林;G.貝林克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奧斯蘭姆奧普托半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L33/50
• 分類號(hào): H01L33/50;H01L33/52
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉書航;劉春元

1.一種用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件（100）的方法，包括：

提供載體（110），載體（110）具有布置在載體（110）上的半導(dǎo)體部件（140）；

在載體（110）上提供層布置，所述層布置鄰接半導(dǎo)體部件（140）并且包括第一可流動(dòng)層和第二可流動(dòng)層，其中第一層（161）形成在載體（110）上，并且然后在第一層（161）上形成第二層（162、262），其中第一層（161）包括顆粒（166），其中第一層（161）的密度大于第二層（162、262）的密度，并且其中發(fā)生利用第一層（161）的對(duì)半導(dǎo)體部件（140）的橫向浸潤(rùn)，使得第一層（161）包括第一配置，該第一配置包括相對(duì)于半導(dǎo)體部件（140）在橫向上彎曲的層表面；以及

對(duì)被提供有半導(dǎo)體部件（140）和所述層布置的載體（110）進(jìn)行離心，使得至少減小第一層（161）的相對(duì)于半導(dǎo)體部件（140）在橫向上的層表面的彎曲，并且作為結(jié)果第一層（161）包括第二配置，其中，借助于布置在第一層（161）上的第二層（162、262），抑制第一層（161）再次返回到第一配置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中半導(dǎo)體部件（140）是以下之一：

輻射發(fā)射半導(dǎo)體部件；

輻射發(fā)射半導(dǎo)體芯片；或者

輻射發(fā)射CSP半導(dǎo)體部件。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第一層（161）和/或第二層（162、262）是塑料層。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第二層（162）是輻射透射性塑料層。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第一層（161）包括至少以下顆粒：

反射性顆粒；

吸收劑顆粒；和/或

磷光體顆粒。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第一層（161）包括具有在30%至50%的范圍內(nèi)的按重量計(jì)的比例的顆粒。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中，在離心之后，執(zhí)行固化第一層（161）以及然后移除第二層（262）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，

其中第二層（262）包括以下中的至少一個(gè)：

硅樹脂油；

甘油；和/或

水。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第一層（161）和第二層（162）包括對(duì)應(yīng)的塑料材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6或9中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中第一層（161）和第二層（162）包括硅樹脂材料。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中，在離心之后，執(zhí)行移除載體（110）。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中所提供的載體（110）包括腔體（131），在腔體（131）中布置有半導(dǎo)體部件（140）。

13.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中包圍腔體（181）的壁結(jié)構(gòu)（180）被布置在所提供的載體（110）上，并且其中半導(dǎo)體部件（140）被布置在腔體（181）中。

14.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的方法，

其中，在離心之后，執(zhí)行以下中的至少一個(gè)：

形成進(jìn)一步的層（170、171、172、175、190）；或者

形成透鏡（191）。