[發(fā)明專利]硼的去除方法、及純水或超純水的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880066892.1
• 申請(qǐng)日: 2018-09-12
• 公開（公告）號(hào): CN111225880A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中馬高明;后藤秀樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 栗田工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C02F1/42
• 分類號(hào): C02F1/42;C02F1/28
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李慧慧;向勇

與預(yù)先設(shè)定的硼吸附塔的硼B(yǎng)TP相對(duì)應(yīng)地，在硼吸附塔的供水硼濃度與通水SV的乘積，或硼吸附塔的供水硼濃度與通水SV與通水時(shí)間的乘積成為規(guī)定值以下的條件下，進(jìn)行處理。以使上述乘積成為規(guī)定值以下的方式設(shè)定填充于硼吸附塔的硼選擇性吸附體量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明有關(guān)向填充有硼選擇性吸附體的硼吸附塔中通入含硼水而去除硼的方法。本發(fā)明還有關(guān)使用該硼的去除方法的純水或超純水的制造方法。

本說明書中，所謂BTC(Break through capacity)是指硼吸附塔的貫流更換容量，所謂BTP(Break through point)是指該貫流點(diǎn)(過臨界點(diǎn))。

背景技術(shù)

超純水制造系統(tǒng)由前處理系統(tǒng)、一次純水系統(tǒng)、子系統(tǒng)(subsystem)構(gòu)成。

一次純水系統(tǒng)的作用在于去除前處理水中的離子成分或大部分TOC，是由RO裝置(反滲透膜裝置)、脫氣膜裝置、去離子裝置等而構(gòu)成。其中，去離子裝置可對(duì)應(yīng)水量或非化學(xué)品等的需求而從利用離子交換樹脂的復(fù)數(shù)床式離子交換裝置、混床式離子交換裝置、電性去離子裝置等中選擇。

子系統(tǒng)是對(duì)由一次純水系統(tǒng)所得的純水根據(jù)目的進(jìn)行改進(jìn)品質(zhì)提升而制成特定超純水水質(zhì)的系統(tǒng)，其由UV裝置(紫外線氧化裝置)、非再生型離子交換裝置、脫氣膜裝置、UF裝置(超過濾膜裝置)等構(gòu)成。

子系統(tǒng)的作用在于去除以一次純水系統(tǒng)無法去除的微量離子或TOC及微粒子。

近幾年來，最前沿的電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，已開始要求硼濃度1ng/L以下的超純水。

以往，作為降低水中硼濃度的手段的一個(gè)示例可舉出利用硼螯合樹脂(硼選擇性離子交換樹脂)或陰離子交換樹脂的方法。硼螯合樹脂是基于樹脂內(nèi)部的N-甲基葡糖胺基(NMG)與硼反應(yīng)而將水中的硼固定化并去除的樹脂。

例如，專利文獻(xiàn)1中記載了于純水或超純水制造設(shè)備內(nèi)的任一位置使前處理水與硼螯合樹脂接觸而去除硼。

專利文獻(xiàn)2中記載了于非試劑再生型脫鹽裝置(2段RO、電再生式脫鹽裝置、蒸餾裝置)的后段與硼螯合樹脂接觸。

專利文獻(xiàn)3中記載了利用陰離子交換樹脂去除硼時(shí)，降低被處理水的水溫來提高硼B(yǎng)TC。

專利文獻(xiàn)4中記載了向吸附硼后的陰離子交換樹脂中通入溫純水使硼脫附并再生來提高硼B(yǎng)TC。

[專利文獻(xiàn)1]日本特開平8-84986號(hào)公報(bào)；

[專利文獻(xiàn)2]日本特開平9-192661號(hào)公報(bào)；

[專利文獻(xiàn)3]日本特開2005-177564號(hào)公報(bào)；

[專利文獻(xiàn)4]日本特開2009-240891號(hào)公報(bào)。

硼螯合樹脂等的硼選擇性吸附體由于昂貴，故期望最大限度地利用其硼吸附容量，亦即期望充分提高硼吸附塔的硼B(yǎng)TC。

在這樣的技術(shù)要求下，現(xiàn)有技術(shù)有些不足，例如所述專利文獻(xiàn)1、2的方法，雖可通過單純配置去除硼，但無法進(jìn)行與硼螯合樹脂匹配的最佳的運(yùn)轉(zhuǎn)控制，無法實(shí)現(xiàn)優(yōu)化。

專利文獻(xiàn)3的方法，雖通過水溫調(diào)整使容易漏出的硼留于樹脂內(nèi)而有效利用了樹脂的吸附容量，但為了調(diào)整水溫需要設(shè)置熱交換器，且其效果算不上充分。

專利文獻(xiàn)4的方法就硼的脫除而言有望新穎地進(jìn)行硼去除，但即使為該方法亦無法獲得充分提高吸附容量的效果，且亦需耗費(fèi)溫水的成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題在于提供不需要特別的裝置設(shè)備或試劑、能量等，就可提高填充有硼選擇性吸附體的硼吸附塔的硼B(yǎng)TC，最大限度利用硼選擇性吸附體的吸附容量，能夠以更少的樹脂量去除更多硼的硼的去除方法、使用該硼的去除方法的純水或超純水的制造方法。