[發明專利]硼的去除方法、及純水或超純水的制造方法在審
| 申請號: | 201880066892.1 | 申請日: | 2018-09-12 |
| 公開(公告)號: | CN111225880A | 公開(公告)日: | 2020-06-02 |
| 發明(設計)人: | 中馬高明;后藤秀樹 | 申請(專利權)人: | 栗田工業株式會社 |
| 主分類號: | C02F1/42 | 分類號: | C02F1/42;C02F1/28 |
| 代理公司: | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 李慧慧;向勇 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 去除 方法 純水 超純水 制造 | ||
1.一種硼的去除方法,其是向填充有硼選擇性吸附體的硼吸附塔中通入含硼水而去除硼的方法,其特征是,
與預先設定的該硼吸附塔的硼BTP相對應地,在該硼吸附塔的供水的硼濃度與向該硼吸附塔中通入的該含硼水的通水SV的乘積成為規定值以下的條件下,通入該含硼水。
2.如權利要求1所述的硼的去除方法,其特征是,以使所述通水SV與供水硼濃度的乘積成為規定值以下的方式,設定該通水SV和/或填充于所述硼吸附塔的硼選擇性吸附體量。
3.一種硼的去除方法,其是向填充有硼選擇性吸附體的硼吸附塔中通入含硼水而去除硼的方法,其特征是,
與預先設定的該硼吸附塔的硼BTP相對應地,在該硼吸附塔的供水的硼濃度與向該硼吸附塔中通入的該含硼水的通水SV與該含硼水的通水時間的乘積成為規定值以下的條件下,通入該含硼水。
4.如權利要求3所述的硼的去除方法,其特征是,以使所述通水SV與供水硼濃度與通水時間的乘積成為規定值以下的方式,進行該通水SV的設定、填充于所述硼吸附塔的硼選擇性吸附體量的設定及通水時間的控制中的任一者。
5.如權利要求3所述的硼的去除方法,其特征是,使用復數個所述硼吸附塔,邊對該復數個硼吸附塔中的一部分硼吸附塔持續所述供水的通水,邊以使所述通水SV與供水硼濃度與通水時間的乘積成為規定值以下的方式,設定向其他硼吸附塔中通水的停止期間。
6.如權利要求5所述的硼的去除方法,其特征是,所述復數個硼吸附塔并聯連接,邊對該復數個硼吸附塔中的一部分硼吸附塔持續所述供水的通水,邊設定向其他硼吸附塔中通水的停止期間。
7.一種純水或超純水的制造方法,其具有利用權利要求1至6中任一項所述的硼的去除方法去除硼的工序。
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