[發明專利]研磨墊及其制造方法有效
| 申請號： | 201880066479.5 | 申請日： | 2018-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN111212705B | 公開（公告）日： | 2022-03-01 |
| 發明（設計）人： | 宮坂博仁;立野哲平;松岡立馬;栗原浩;三國匠 | 申請（專利權）人： | 富士紡控股株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/24 | 分類號： | B24B37/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 陳彥;孔博 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨墊，其為具備研磨層的研磨墊，所述研磨層具有包含大致球狀的氣泡的聚氨酯片，在將預先暴露于溫度23℃、相對濕度90％的環境下的所述聚氨酯片在40℃、初始載荷148g、變形范圍0.1％、測定頻率1.6Hz、拉伸模式下的儲能模量設為E’(90％)，
將預先暴露于溫度23℃、相對濕度30％的環境下的所述聚氨酯片在40℃、初始載荷148g、變形范圍0.1％、測定頻率1.6Hz、拉伸模式下的儲能模量設為E’(30％)時，
E’(90％)/E’(30％)為0.4～0.7的范圍內，并且
在將預先暴露于溫度23℃、相對濕度90％的環境下的所述聚氨酯片在40℃、初始載荷148g、變形范圍0.1％、測定頻率1.6Hz、拉伸模式下的KEL設為KEL(90％)，
將預先暴露于溫度23℃、相對濕度30％的環境下的所述聚氨酯片在40℃、初始載荷148g、變形范圍0.1％、測定頻率1.6Hz、拉伸模式下的KEL設為KEL(30％)時，
KEL(90％)/KEL(30％)為2～4的范圍內。
2.根據權利要求1所述的研磨墊，所述聚氨酯片的E’(30％)為280～600MPa。
3.根據權利要求1或2所述的研磨墊，所述聚氨酯片的KEL(90％)為450～1500(1/Pa)。
4.根據權利要求1或2所述的研磨墊，所述聚氨酯片包含平均粒徑10～150μm的中空體。
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