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[發(fā)明專利]用于多頻率射頻(RF)偏置的RF濾波器在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201880065144.1 申請日: 2018-10-02
公開(公告)號: CN111183496A 公開(公告)日: 2020-05-19
發(fā)明(設(shè)計)人: 亞歷克斯·帕特森;龍茂林 申請(專利權(quán))人: 朗姆研究公司
主分類號: H01F30/00 分類號: H01F30/00;H01F19/08;H01F27/28;H03H7/01;H01J37/32;H01B5/08
代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263 代理人: 李獻忠;張華
地址: 美國加利*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 頻率 射頻 rf 偏置 濾波器
【權(quán)利要求書】:

1.一種射頻(RF)濾波器,其包含:

電感元件,其包括至少2個線圈區(qū)段,所述線圈區(qū)段共同地形成絞合磁導(dǎo)線的電纜的未分開線圈,每個線圈區(qū)段包括以對應(yīng)的匝距所構(gòu)造的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈的一部分,至少2個相鄰的線圈區(qū)段具有不同的匝距,所述絞合磁導(dǎo)線的電纜包括每個通道兩條導(dǎo)線并且其構(gòu)造用于至少一個通道,在所述電感元件的第一端部處的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜被構(gòu)造用于連接至電氣部件,所述電氣部件將從電源接收電力,在所述電感元件的第二端部處的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜被構(gòu)造用于連接至所述電源;以及

成組的終端電容元件,其包括用于所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的每條導(dǎo)線的單獨的終端電容元件,每個終端電容元件在所述電感元件的第二端部和所述電源之間的位置,電連接于參考接地電位與所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的相應(yīng)導(dǎo)線之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈具有經(jīng)過所述至少2個線圈區(qū)段的相鄰線圈區(qū)段之間的每個過渡區(qū)的連續(xù)構(gòu)造。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述至少2個線圈區(qū)段與將通過所述RF濾波器進行濾波的對應(yīng)RF頻率有關(guān)聯(lián)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的RF濾波器,其中設(shè)定給定線圈區(qū)段的所述匝距,以造成所述給定線圈區(qū)段與將通過所述RF濾波器進行濾波的所述對應(yīng)RF頻率中的一者共振。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的每條導(dǎo)線是被涂覆有電絕緣涂覆材料的電導(dǎo)體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的RF濾波器,其中所述電絕緣涂覆材料防止低頻電流的導(dǎo)線至導(dǎo)線傳導(dǎo)并且允許RF功率的導(dǎo)線至導(dǎo)線傳輸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中至少1個線圈區(qū)段包括所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的多個匝層,所述多個匝層相對于所述電感元件的軸線沿徑向方向堆疊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中至少2個線圈區(qū)段具有沿著所述電感元件的軸線所測量的不同長度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈具有在至少2個線圈區(qū)段中的不同匝直徑。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈具有在至少2個線圈區(qū)段中的不同匝形狀。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜包括八條導(dǎo)線,并被構(gòu)造用于四個通道,且所述至少2個線圈區(qū)段的數(shù)目是2個。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈具有在所述至少2個線圈區(qū)段中的實質(zhì)上相同的匝直徑,連接至所述電感元件的所述第一端部的第一線圈區(qū)段的所述匝距大于連接至所述電感元件的所述第二端部的第二線圈區(qū)段的所述匝距。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的RF濾波器,其中所述第一線圈區(qū)段具有所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的單一匝層,且所述第二線圈區(qū)段具有所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的2個匝層。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的RF濾波器,其中所述第一線圈區(qū)段在所述單一匝層內(nèi)具有約13匝的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜,以及所述第二線圈區(qū)段在所述2個匝層的內(nèi)匝層內(nèi)具有約21匝的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜,且所述第二線圈區(qū)段在所述2個匝層的外匝層內(nèi)具有約18匝的所述絞合磁導(dǎo)線的電纜,以及所述成組的終端電容元件中的每一終端電容元件具有約0.1微法拉的電容值。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF濾波器,其中所述電感元件包括被所述絞合磁導(dǎo)線的電纜的所述未分開線圈卷繞的線圈管。

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