[發明專利]三氯硅烷制造裝置以及三氯硅烷的制造方法在審
| 申請號： | 201880060343.3 | 申請日： | 2018-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN111108065A | 公開（公告）日： | 2020-05-05 |
| 發明（設計）人： | 弘田賢次;荻原克彌 | 申請（專利權）人： | 株式會社德山 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;B01D39/20 |
| 代理公司： | 北京信諾創成知識產權代理有限公司 11728 | 代理人： | 劉金峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 制造 裝置 以及 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種三氯硅烷制造裝置，具備：
反應裝置，其使用金屬硅粉體來生成三氯硅烷；以及
過濾器裝置，其從通過所述反應裝置而生成的包含三氯硅烷及反應殘渣的反應生成物中去除所述反應殘渣；
其特征在于，
所述過濾器裝置具備由耐腐蝕性材料構成的過濾器元件。
2.根據權利要求1所述的三氯硅烷制造裝置，其特征在于，
所述耐腐蝕性材料包含1重量％以上的鉬。
3.根據權利要求1或2所述的三氯硅烷制造裝置，其特征在于，
所述耐腐蝕性材料為鉻鎳鐵合金625或哈氏合金。
4.一種三氯硅烷的制造方法，其特征在于，
具有使用根據權利要求1至3中任一項所述的三氯硅烷制造裝置來制造三氯硅烷的步驟。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社德山，未經株式會社德山許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201880060343.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
