[發(fā)明專利]噴淋頭及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880060067.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111108585A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 諸成泰;樸燦用;李在鎬;張吉淳;尹暢焄;林漢俊;姜宇泳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社EUGENE科技
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京紐盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11456
• 代理人: 許玉順;金珍花

1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：

腔體，所述腔體用于對(duì)基板實(shí)施工序；

噴淋頭，所述噴淋頭設(shè)置于所述腔體的內(nèi)部且向所述基板噴射反應(yīng)氣體；以及

基座，所述基座設(shè)置于所述噴淋頭的下部且支撐所述基板；

所述噴淋頭包括：

噴淋頭本體，所述噴淋頭本體包括內(nèi)部空間和多個(gè)噴射孔，所述內(nèi)部空間從外部被供給反應(yīng)氣體，所述多個(gè)噴射孔與所述內(nèi)部空間連通而噴射所述反應(yīng)氣體；

流入板，所述流入板設(shè)置于所述內(nèi)部空間，用于將所述內(nèi)部空間劃分為流入空間及緩沖空間，所述流入板具有連通所述流入空間和所述緩沖空間的多個(gè)流入口；以及

多個(gè)調(diào)節(jié)板，分別設(shè)置于所述流入口上且可移動(dòng)，根據(jù)由移動(dòng)引起的與所述流入板之間的間隔距離，限制所述反應(yīng)氣體從所述流入空間向所述緩沖空間移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，

所述流入板具有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔形成于所述流入口的兩側(cè)中某一個(gè)以上；

所述調(diào)節(jié)板具有導(dǎo)向條，所述導(dǎo)向條從與所述流入板相對(duì)的一面凸出且插入所述導(dǎo)向孔，所述調(diào)節(jié)板移動(dòng)時(shí)，所述導(dǎo)向條沿著所述導(dǎo)向孔移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述基板處理裝置還包括多個(gè)電磁鐵，所述電磁鐵向所述調(diào)節(jié)板分別施加磁力來(lái)移動(dòng)所述調(diào)節(jié)板。

4.如權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述腔體具備：

上部開(kāi)放的下部腔體；及

上部腔體，所述上部腔體設(shè)置于所述噴淋頭的上部而形成所述內(nèi)部空間，用于開(kāi)閉所述下部腔體的上部，與所述下部腔體一起形成對(duì)所述基板實(shí)施工序的空間；

所述電磁鐵安裝于所述上部腔體中，分別位于所述調(diào)節(jié)板的上部。

5.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述基板處理裝置還包括：

擴(kuò)散板，所述擴(kuò)散板設(shè)置于所述緩沖空間，將所述緩沖空間劃分為劃分空間及擴(kuò)散空間，所述擴(kuò)散板具備連通所述劃分空間和所述擴(kuò)散空間的多個(gè)擴(kuò)散孔；

所述擴(kuò)散板具備隔板，所述隔板從上部表面凸出且將所述劃分空間劃分為多個(gè)。

6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述流入口與劃分為多個(gè)的所述劃分空間的各區(qū)域?yàn)橐粚?duì)一對(duì)應(yīng)關(guān)系。

7.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述流入板在表面涂敷有樹(shù)脂。

8.一種噴淋頭，其特征在于，包括：

噴淋頭本體，所述噴淋頭本體包括從外部被供給反應(yīng)氣體的內(nèi)部空間及與所述內(nèi)部空間連通而噴射所述反應(yīng)氣體的多個(gè)噴射孔；

流入板，所述流入板設(shè)置于所述內(nèi)部空間，用于將所述內(nèi)部空間劃分為流入空間及緩沖空間，所述流入板具有連通所述流入空間和所述緩沖空間的多個(gè)流入口；以及

多個(gè)調(diào)節(jié)板，分別設(shè)置于所述流入口上且可移動(dòng)，根據(jù)由移動(dòng)引起的與所述流入板之間的間隔距離限制所述反應(yīng)氣體從所述流入空間向所述緩沖空間移動(dòng)。

9.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭，其特征在于，

所述流入板具備導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔形成于所述流入口的兩側(cè)中某一個(gè)以上；

所述調(diào)節(jié)板具備導(dǎo)向條，所述導(dǎo)向條從與所述流入板相對(duì)的一面凸出且插入于所述導(dǎo)向孔，所述調(diào)節(jié)板移動(dòng)時(shí)，所述導(dǎo)向條沿著所述導(dǎo)向孔移動(dòng)。