[發(fā)明專利]電容器、包含電容器的集成組合件和形成集成組合件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880059070.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111108619B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王國(guó)鎮(zhèn);天池浩志;服部耕太
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美光科技公司
• 主分類號(hào): H10N97/00
• 分類號(hào): H10N97/00;H10B12/00
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 王龍

一些實(shí)施例包含電容器。所述電容器具有第一電極，所述第一電極具有下部柱狀部分以及位于所述下部柱狀部分上方的上部容器部分。所述下部柱狀部分具有外表面。所述上部容器部分具有內(nèi)表面和外表面。介電材料襯在所述上部容器部分的所述內(nèi)表面和所述外表面上并且襯在所述下部柱狀部分的所述外表面上。第二電極沿所述上部容器部分的所述內(nèi)表面和所述外表面以及沿所述下部柱狀部分的所述外表面延伸。所述第二電極通過(guò)所述介電材料與所述第一電極間隔開(kāi)。一些實(shí)施例包含具有電容器的組合件(例如，存儲(chǔ)器陣列)。一些實(shí)施例包含形成電容器的方法。

技術(shù)領(lǐng)域

電容器、包含電容器的集成組合件和形成具有電容器的集成組合件的方法。

背景技術(shù)

存儲(chǔ)器是一種類型的集成電路系統(tǒng)并且用于電子系統(tǒng)中以存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。集成存儲(chǔ)器通常被制造成單獨(dú)存儲(chǔ)器格的一或多個(gè)陣列。存儲(chǔ)器格被配置成將存儲(chǔ)器以至少兩種不同的可選擇狀態(tài)保留或存儲(chǔ)。在二進(jìn)制系統(tǒng)中，狀態(tài)被認(rèn)為是“0”或“1”。在其它系統(tǒng)中，至少一些單獨(dú)存儲(chǔ)器格可以被配置成存儲(chǔ)兩個(gè)以上水平或狀態(tài)的信息。

示例存儲(chǔ)器是動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)。DRAM單元格可以各自包括與晶體管結(jié)合的電容器。存儲(chǔ)于DRAM單元格的電容器上的電荷可以對(duì)應(yīng)于存儲(chǔ)位。

期望開(kāi)發(fā)適合于在DRAM和/或其它集成電路系統(tǒng)中使用的改進(jìn)的電容器。

附圖說(shuō)明

圖1是示例電容器配置的圖解性橫截面視圖。

圖1A和1B分別是沿圖1的線A-A和B-B的橫截面視圖。

圖2是具有相鄰的一對(duì)示例電容器配置的示例組合件的圖解橫截面視圖。

圖3-15是用于形成圖2的示例組合件的示例方法的處于示例過(guò)程階段的示例構(gòu)造的圖解性橫截面視圖。圖15的構(gòu)造與圖2的組合件相同。

圖14A是沿圖14的線A-A的橫截面視圖。

圖16是示例存儲(chǔ)器陣列的區(qū)域的示意圖。

具體實(shí)施方式

一些實(shí)施例包含電容器，其中第一電極(存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn))包含位于下部柱狀部分上方的上部容器部分。介電材料沿容器部分的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，并且沿柱狀部分的外側(cè)壁。第二電極(板電極)也沿容器部分的內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁，并且沿柱狀部分的外側(cè)壁，并且通過(guò)介電材料與第一電極間隔開(kāi)。

一些實(shí)施例包含認(rèn)識(shí)到，由于沿容器型電容器的相對(duì)于柱狀型電容器的存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的表面積增加，容器型電容器可以有益地提供與類似尺寸的柱狀型電容器相比更高的電容。還認(rèn)識(shí)到，由于由柱狀形存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)提供的剛性柱狀型電容器與容器型電容器相比可以有益地在結(jié)構(gòu)上更穩(wěn)定。另外，認(rèn)識(shí)到，由于與容器型電容器的制造相關(guān)的困難，可以存在跨容器型電容器的陣列的如與柱狀型電容器相比更寬的電容擴(kuò)散。

一些實(shí)施例包含具有存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的新的電容器配置，所述存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)將容器型結(jié)構(gòu)與柱狀型結(jié)構(gòu)組合。如此在減少(或甚至消除)與容器型配置和柱狀型配置中的任一個(gè)配置或兩個(gè)配置相關(guān)聯(lián)的缺點(diǎn)的同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)與待實(shí)現(xiàn)的容器型配置相關(guān)聯(lián)的益處連同與柱狀型配置相關(guān)聯(lián)的益處。在一些實(shí)施例中，電容器存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的下部部分具有柱狀型配置，并且電容器存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的上部部分具有容器型配置。參照?qǐng)D1-16描述示例實(shí)施例。

參照?qǐng)D1、1A和1B，展示了示例組合件10的區(qū)域，此區(qū)域包括示例電容器12。

電容器12包含第一電極14、第二電極16和位于第一電極與第二電極之間的介電材料18。

第一電極14包含下部柱狀部分20和位于所述下部柱狀部分上方的上部容器部分22。導(dǎo)電襯墊24具有位于第一電極16的下部柱狀部分20內(nèi)的下部部分，并且具有位于第一電極16的上部容器部分22內(nèi)的上部部分。

下部支柱部分20也包含被導(dǎo)電襯墊24側(cè)向包圍的導(dǎo)電填充材料26。