[發(fā)明專利]基板支撐裝置及基板處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880056422.7
• 申請日: 2018-08-20
• 公開（公告）號(hào): CN111066138B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金鐘植;申鉉昱;李受娟
• 申請（專利權(quán)）人: 周星工程股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 李琳;陳英俊

1.一種基板處理設(shè)備的基板支撐裝置，所述基板支撐裝置包括：

圓盤；以及

多個(gè)基板支撐部，所述多個(gè)基板支撐部從所述圓盤的中心徑向布置，基板由所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部支撐，

其中，所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部的上表面比所述圓盤的上表面更向上突出，

所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部包括從每個(gè)基板支撐部的下表面向每個(gè)基板支撐部下方的下部突出的定心構(gòu)件，

所述定心構(gòu)件中的每個(gè)定心構(gòu)件被設(shè)置為具有隨著相應(yīng)的定心構(gòu)件逐漸向所述下部突出而減小的直徑，

所述圓盤包括：多個(gè)插入部，所述定心構(gòu)件分別插入到所述多個(gè)插入部中；以及多個(gè)支撐表面，所述多個(gè)支撐表面支撐分別插入到所述多個(gè)插入部中的所述定心構(gòu)件，

所述多個(gè)支撐表面中的每個(gè)支撐表面被傾斜地設(shè)置為具有隨著相應(yīng)的支撐表面逐漸延伸到所述下部而減小的直徑，

所述圓盤包括：多個(gè)插入部，所述多個(gè)基板支撐部分別插入到所述多個(gè)插入部中；以及多個(gè)對準(zhǔn)凹槽，所述多個(gè)對準(zhǔn)凹槽設(shè)置在所述多個(gè)插入部中的每個(gè)插入部的外側(cè)，

所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部包括從每個(gè)基板支撐部的下表面突出的多個(gè)對準(zhǔn)突起，

當(dāng)所述多個(gè)對準(zhǔn)突起分別被插入到所述多個(gè)對準(zhǔn)凹槽中時(shí)，所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部被可拆卸地耦接到所述圓盤，并且

所述多個(gè)對準(zhǔn)突起中的每個(gè)對準(zhǔn)突起的尺寸在向下方向上減小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述圓盤的上表面與所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部的上表面之間的高度差大于3mm且小于30mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述多個(gè)基板支撐部從所述圓盤可拆卸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述多個(gè)插入部從所述圓盤的所述中心徑向布置，

其中，所述多個(gè)插入部中的一個(gè)插入部被可拆卸地連接到所述多個(gè)基板支撐部中的一個(gè)基板支撐部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述多個(gè)插入部從所述圓盤的所述中心徑向布置，

其中，所述多個(gè)基板支撐部中的一個(gè)基板支撐部被分配給所述多個(gè)插入部中的每個(gè)插入部，并且所述一個(gè)基板支撐部的一部分被插入到相應(yīng)的插入部中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部的中心設(shè)置在所述圓盤的所述中心的同心圓中。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的基板支撐裝置，其中，

所述多個(gè)插入部中的每個(gè)插入部設(shè)置成在所述圓盤的上表面具有第一內(nèi)徑并且在所述圓盤的下表面具有第二內(nèi)徑，并且

所述第一內(nèi)徑大于所述第二內(nèi)徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，

N個(gè)對準(zhǔn)突起被設(shè)置在所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部中，其中N是大于1的整數(shù)，

N個(gè)或2N個(gè)對準(zhǔn)凹槽被設(shè)置在所述圓盤中的所述多個(gè)插入部中的每個(gè)插入部的外側(cè)，并且

所述多個(gè)對準(zhǔn)突起設(shè)置成相對于所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部的中心以相同的角度彼此間隔開，并且所述多個(gè)對準(zhǔn)突起基于相對于所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部的中心執(zhí)行的旋轉(zhuǎn)的角度，被插入到不同的對準(zhǔn)凹槽中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述多個(gè)基板支撐部中的每個(gè)基板支撐部包括：中心部分，所述中心部分支撐所述基板的下表面；以及外部臺(tái)階部分，所述外部臺(tái)階部分支撐所述基板的側(cè)表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板支撐裝置，其中，

至少一個(gè)氣體流路設(shè)置在所述外部臺(tái)階部分中，并且

所述氣體流路與所述外部臺(tái)階部分的內(nèi)部和所述圓盤的所述上表面中的每一者連通。