[發明專利]圖案曝光方法及圖案曝光裝置有效
| 申請號： | 201880055472.3 | 申請日： | 2018-10-03 |
| 公開（公告）號： | CN111263919B | 公開（公告）日： | 2022-06-21 |
| 發明（設計）人： | 杉本重人 | 申請（專利權）人： | 株式會社V技術 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 呂琳;樸秀玉 |
| 地址： | 日本神奈*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 曝光 方法 裝置 | ||
1.一種圖案曝光方法，基于曝光圖像數據對光束進行接通或斷開控制的同時進行掃描，并在曝光面上描繪圖案，該圖案曝光方法的特征在于，具備如下步驟：
在所述曝光面上劃分光束的最小曝光單位，以所述最小曝光單位的集合特定所述曝光圖像數據中校正所需要的光束的接通區域；
按所述接通區域內的最小曝光單位累積所述光束的強度分布，并求出所述接通區域內的累積強度分布；
對所述累積強度分布與設定的閾值進行比較而求出在所述曝光面上連結所述累積強度分布與所述閾值一致的點而成的輪廓來作為累積強度輪廓；及
在所述接通區域的外側按所述最小曝光單位設定接通光束的接通單位來校正所述曝光圖像數據，以使被所述接通區域的外緣和所述累積強度輪廓包圍的差分面積變小。
2.根據權利要求1所述的圖案曝光方法，其特征在于，
所述接通單位被設定于所述曝光圖像數據中平面角部的附近。
3.根據權利要求1所述的圖案曝光方法，其特征在于，
臨時設定所述接通單位，僅在臨時設定的所述接通單位所影響的區域重新求出所述累積強度輪廓，當所述差分面積變小時，確定臨時設定的所述接通單位的設定。
4.根據權利要求2所述的圖案曝光方法，其特征在于，
臨時設定所述接通單位，僅在臨時設定的所述接通單位所影響的區域重新求出所述累積強度輪廓，當所述差分面積變小時，確定臨時設定的所述接通單位的設定。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的圖案曝光方法，其特征在于，
所述接通單位被設定成抑制所述累積強度輪廓突出在所述接通區域的外緣的外側的突出量。
6.一種圖案曝光裝置，基于曝光圖像數據，對光束進行接通或斷開控制的同時進行掃描，并在曝光面上描繪圖案，該圖案曝光裝置的特征在于，
具備校正所述曝光圖像數據的數據校正部，
該數據校正部具備如下運算處理部：
在所述曝光面上劃分光束的最小曝光單位，以所述最小曝光單位的集合特定所述曝光圖像數據中校正所需要的光束的接通區域；
按所述接通區域內的最小曝光單位累積所述光束的強度分布，并求出所述接通區域內的累積強度分布；
對所述累積強度分布與設定的閾值進行比較而求出在所述曝光面上連結所述累積強度分布與所述閾值一致的點而成的輪廓來作為累積強度輪廓；及
在所述接通區域的外側按所述最小曝光單位設定接通光束的接通單位來校正所述曝光圖像數據，以使被所述接通區域的外緣和所述累積強度輪廓包圍的差分面積變小。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社V技術，未經株式會社V技術許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201880055472.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：呼吸裝置、應用程序以及它們之間的交互
- 下一篇：用于控制震顫影響的系統和方法
