[發明專利]平衡RF電路和交叉耦合的SIMO分配網絡的控制

有效

• 申請號: 201880054854.4
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN111033681B
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 大衛·J·庫莫;丹尼斯·M·布朗;政錫姜;金許
• 申請（專利權）人: MKS儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 于會玲;宋志強

一種單輸入多輸出等離子控制系統包括接收單個輸入并產生多個輸出的分路器。將來自分路器的每個輸出提供至負載。分路器包括被連接在所選擇的分路器輸出之間的分支電路。分支電路控制每個分支之間的電壓、電流、功率、頻率或相位以使能控制在每個負載處測得的電壓、電流、功率、阻抗、頻率或相位之間的預定關系。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2018年8月24日提交的第16/112,055號美國實用新型專利申請案的優先權，并且也要求享有于2017年8月29日提交的第62/551,637號美國臨時申請案的權益。上述申請案的全部公開內容以引用的方式并入本文中。

技術領域

本公開涉及RF系統以及在多個輸出之間的多個功率、電壓或電流之間分配功率。

背景技術

本部分提供了與本公開相關的、不必是現有技術的信息。在此提供的背景技術描述是用于一般地呈現本公開內容的目的。就在本背景技術部分中所描述的程度而言，當前署名的發明人的工作以及在遞交時可能未另外描述為現有技術的說明書的方面，既不明確地也不隱含地被承認為本公開的現有技術。

在各種基于等離子的制造系統中，工件在電極或工作站之間旋轉。在一些配置中，工件在每個電極或工作站處花費相等的時間。在每個電極或工作站處花費相等的時間導致在每個電極或工作站之間的功率失配，因為工件在每個工作站或電極處花費相等的時間。通過旋轉工件以相等的時間段通過多個站而提供的該理論上相等的能量理論上導致改進的沉積均勻性并相應地提高了吞吐量。例如，如果工件旋轉通過四個電極或工作站，提供了4:1的吞吐量。

然而，在一些基于等離子的制造系統中，每個電極或工作站之間的功率偏差可以顯著變化。顯著變化可以降低理論上通過旋轉工件通過多個電極或工作站所提供的所期望的均勻性。

發明內容

本部分提供了本公開的一般性概述，且并非是本公開的全部范圍或所有特征的全面公開。

一種單輸入多輸出等離子控制系統包括接收單個輸入并產生多個輸出的分路器。將來自分路器的每個輸出提供至負載阻抗。分路器包括被連接在所選擇的分路器輸出之間的分支電路。分支電路控制每個分支之間的電壓、電流或功率流以使能平衡施加至每個負載的各個電壓、電流或功率。

電分路器接收RF輸出信號并產生第一RF輸出和第二RF輸出至各個第一負載和第二負載。電分路器包括提供第一RF輸出至第一負載的第一支路，以及提供第二RF輸出至第二負載的第二支路。被連接在第一支路和第二支路之間的平衡電路控制與第一支路和第二支路中的一個相關聯的電參數的第一數值，以及與第一支路和第二支路中的另一個相關聯的電參數的第二數值。第一數值和第二數值被控制為預定關系。

RF系統包括產生RF信號的RF功率源。分路器接收RF信號并產生第一RF輸出和第二RF輸出至各個第一負載和第二負載。RF系統包括提供第一RF輸出至第一負載的第一支路，以及提供第二RF輸出至第二負載的第二支路。平衡電路被連接在第一支路和第二支路之間。平衡電路包括至少一個部件。至少一個部件是可變的，以控制與第一支路和第二支路中的一個相關聯的電參數的第一數值，以及與第一支路和第二支路中的另一個相關聯的電參數的第二數值。控制器被配置為改變至少一個部件。控制器控制至少一個部件，使得第一數值和第二數值被控制為預定關系。

電分路器的平衡電路接收RF輸出信號并產生第一RF輸出和第二RF輸出至各個第一負載和第二負載。第一支路提供第一RF輸出至第一負載，且第二支路提供第二RF輸出至第二負載。平衡電路包括被連接在第一支路和第二支路之間的至少一個部件。至少一個部件是可變的，以控制與第一支路和第二支路中的一個相關聯的電參數的第一數值，以及與第一支路和第二支路中的另一個相關聯的電參數的第二數值。第一數值和第二數值被控制為預定關系。

根據本文提供的描述，其它應用領域將變得顯而易見。發明內容中的描述和特定示例僅旨在用于說明的目的，并不旨在限制本公開的范圍。

附圖說明