[發明專利]平衡RF電路和交叉耦合的SIMO分配網絡的控制

有效

• 申請號: 201880054854.4
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN111033681B
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 大衛·J·庫莫;丹尼斯·M·布朗;政錫姜;金許
• 申請（專利權）人: MKS儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 于會玲;宋志強

1.一種接收RF輸出信號并產生第一RF輸出和第二RF輸出至各個第一負載和第二負載的電分路器，包括：

第一支路，提供所述第一RF輸出至所述第一負載；

第二支路，提供所述第二RF輸出至所述第二負載；以及

平衡電路，被連接在所述第一支路和所述第二支路之間，所述平衡電路控制與所述第一支路和所述第二支路中的一個相關聯的電參數的第一數值，以及與所述第一支路和所述第二支路中的另一個相關聯的所述電參數的第二數值，

其中，所述第一數值和所述第二數值被控制為預定關系。

2.根據權利要求1所述的電分路器，其中，所述電參數是電壓、電流、功率、阻抗、頻率和相位中的一個。

3.根據權利要求1所述的電分路器，其中，所述平衡電路在所述第一支路和所述第二支路之間分路，并且進一步包括電感器和電容器中的至少一個。

4.根據權利要求3所述的電分路器，其中，所述電感器和所述電容器被并聯布置。

5.根據權利要求4所述的電分路器，其中，所述電容器和所述電感器中的至少一個是可變的，且被控制以改變所述第一數值和所述第二數值之間的所述關系。

6.根據權利要求5所述的電分路器，進一步包括控制器，所述控制器被配置為改變所述電容器和所述電感器中的至少一個，以便改變所述第一數值和所述第二數值之間的所述關系。

7.根據權利要求1所述的電分路器，其中，所述平衡電路包括至少一個部件，所述至少一個部件被改變以便調節所述第一數值和所述第二數值之間的所述關系。

8.根據權利要求1所述的電分路器，進一步包括控制器，所述控制器被配置為根據感測信號改變所述關系，所述感測信號分別根據所述第一數值和所述第二數值改變。

9.根據權利要求1所述的電分路器，其中，基于根據下式之一最小化所述第一數值和所述第二數值之間的差來確定所述預定關系：

min(Δχ_j)＝ξ-(α₁χ₁+α₂χ₂+…a_Kχ_K)或

其中：

i和j指所述電分路器的K個支路中的一個；

ξ是所述電參數；

α_n是對應于第n個支路的系數，其中，n＝(i或j)；以及

χ_n是對應于第n個支路的所述電參數的感測數值，其中，n＝(i或j)。

10.根據權利要求9所述的電分路器，其中，根據下式確定第j個支路的所述電參數的設定點：

χ_j(n+1)＝α_jχ_j(n)

其中：

α_j是對應于所述第j個支路的系數，以及

X_j(n)是在當前設定點的第n次迭代期間對應于所述第j個支路的所述電參數的感測數值。

11.根據權利要求1所述的電分路器，其中，所述第一支路和所述第二支路中的至少一個包括用于將所述第一支路和所述第二支路中的所述至少一個與所述第一支路和所述第二支路中的另一個進行隔離的隔離電路，并且所述隔離電路包括電感器和電容器中的至少一個。