[發明專利]層疊膜

有效

• 申請號: 201880054096.6
• 申請日: 2018-08-21
• 公開（公告）號: CN111032338B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 牧寺雅巳;有村孝;山下恭弘;花岡秀典
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: B32B9/00
• 分類號: B32B9/00;C23C16/42;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 朱丹

1.一種層疊膜，其具有基材、和層疊于該基材的至少一個面的薄膜層，該薄膜層含有硅原子、氧原子及碳原子，

在表示該薄膜層的膜厚方向上的自薄膜層的表面起的距離、與位于該距離的點的薄膜層中所含的碳原子數相對于所含的硅原子、氧原子及碳原子的合計數而言的比率即碳原子比率的關系的碳分布曲線中，具有至少3個極值，極大值的最大值與極大值的最小值的差為14at％以下，極小值的最大值與極小值的最小值的差為14at％～19at％，并且具有至少1個滿足式(1)～(3)的關系的不連續區域：

3at％≤a－b (1)

3at％≤b－c (2)

0.5＜(a－c)/dx (3)

式(1)～式(3)中，在碳分布曲線中，在將該薄膜層的膜厚方向上的從基材側起的相互相鄰的極值依次設為極大值A、極小值C、極大值B時，a表示極大值A的碳原子比率，b表示極大值B的碳原子比率，c表示極小值C的碳原子比率，dx表示極大值A與極小值C的距離，

其中，所述碳原子比率的單位為at％，所述距離的單位為nm。

2.根據權利要求1所述的層疊膜，其中，

所述碳分布曲線中的最小值大于1at％且為5at％以下。

3.根據權利要求1或2所述的層疊膜，其中，

在所述碳分布曲線中，從所述薄膜層的表面到不連續區域中的極小值C為止的距離X、和從所述薄膜層的表面到該薄膜層與所述基材的界面為止的距離Y滿足式(4)的關系：

X＜Y/2 (4)

此處，在存在2個以上的不連續區域的情況下，所述極小值C表示2個以上的不連續區域當中碳原子比率最小的極小值，所述距離X和所述距離Y的單位為nm。

4.根據權利要求1或2所述的層疊膜，其中，

所述式(1)為3at％≤a－b≤10at％，

所述式(2)為3at％≤b－c≤10at％，

所述式(3)為0.5＜(a－c)/dx＜0.8。

5.根據權利要求1或2所述的層疊膜，其具有至少2個不連續區域，所述碳分布曲線中的最小值大于1at％且為5at％以下，所述碳分布曲線中的最大值為23at％～33at％。