[發(fā)明專利]電極膜及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880053462.6
• 申請日: 2018-07-31
• 公開（公告）號: CN111052267B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設計）人: 面了明;西川和宏;寺谷和臣;坂田喜博;西村剛;砂走孝邦
• 申請（專利權）人: NISSHA株式會社
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;B32B3/30;B32B15/02;B32B15/08;B32B17/06;B32B17/12;B32B23/04;B32B23/10;B32B27/06;B32B27/12;B32B27/28;B32B27/30;B32B27/32;B32B27/36
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 紀秀鳳

提供網格圖案的不可視性以及圖像的可視性優(yōu)異的電極膜及其制造方法。電極膜的制造方法具備下面的工序：在透明基材的第一主面上依次層疊金屬層、黑色光致抗蝕劑層的工序；對上述黑色光致抗蝕劑層局部曝光、顯影從而圖案化為網格形狀的工序；以圖案化的上述黑色光致抗蝕劑層作為蝕刻掩模蝕刻上述金屬層直至上述金屬層變?yōu)橄啾扔跇嫵缮鲜龊谏庵驴刮g劑層的網格的細線的寬度小的寬度為止，從而將上述金屬層加工為金屬網格電極的工序；以及對上述黑色光致抗蝕劑層進行加熱并使其軟化，通過軟化的上述黑色光致抗蝕劑層的垂下，不僅被覆構成上述金屬網格電極的網格的細線的上表面，還被覆至構成上述金屬網格電極的網格的細線的兩側面的工序。

技術領域

本發(fā)明涉及電極為金屬網格的電極膜及其制造方法。

背景技術

近年，觸摸面板作為各種電子設備的輸入裝置正在普及。在觸摸面板中，電阻膜方式(Resistive Type)、靜電電容方式(Capacitive Type)等各種方式的面板已被實用化。

觸摸面板通常使用在由玻璃板或聚對苯二甲酸乙二酯膜等構成的透明基材的單側的面上形成有由ITO(Indium Tin oxide；氧化銦錫)薄膜構成的透明導電膜的結構作為觸摸面板用電極構件(專利文獻1)。

但是，由ITO薄膜構成的透明導電膜在因為使用銦這種稀有金屬(稀土類元素)而高價這點、以及為了實現觸摸面板的大面積化而電阻(表面電阻率)為高電阻這點，不易與低成本化及大畫面化的要求對應。

因此，提出在透明基材上取代ITO薄膜的透明導電膜而形成有由金屬細線圖案構成的金屬網格的觸摸面板用電極構件(專利文獻2)。根據金屬網格，能夠比ITO薄膜低成本且低電阻。

該金屬網格電極在作為觸摸面板用電極時，與由ITO薄膜構成的透明電極比較，不可視性成為問題。另外，形成網格圖案的金屬層呈現比較高的反射率，因此外光被漫反射，網格圖案可被看到，導致觸摸面板裝置的圖像對比度降低。因此，將黑化層配置于金屬層的觀察者側。通過該黑化層使網格圖案的不可視性提高，提高圖像對比度，能夠改善圖像的可視性。

這樣的觸摸面板用電極通過首先在透明基材上層疊金屬薄膜以及黑化層、接下來利用使用了光刻技術的蝕刻將該金屬薄膜以及黑化層圖案化，由此制成。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-310551號公報

專利文獻2：日本特開2011-134311號公報。

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的課題

然而，即便為具有該黑化層的金屬網格電極，也由于僅在利用蝕刻而圖案化的金屬層的上表面存在黑化層，所以因為金屬層露出的側面，而使網格圖案的不可視性以及圖像的可視性仍然不足。

本發(fā)明的目的在于提供網格圖案的不可視性以及圖像的可視性優(yōu)異的電極膜及其制造方法。

用于解決課題的方案

下面，作為用于解決課題的方案，對多個方式進行說明。這些方式能夠根據需要任意地組合。

本發(fā)明的電極膜具備：透明基材；金屬網格電極，設置在透明基材的第一主面上；以及黑色光致抗蝕劑層，設置于構成金屬網格電極的網格的細線的上表面及兩側面。

在該電極膜中，構成金屬網格電極的網格的細線的上表面以及兩側面由黑色光致抗蝕劑層遮蔽。由此，可抑制在成為觸摸面板用電極時外光在細線的上表面以及兩側面的漫反射，因此網格圖案不被看出，觸摸面板的圖像對比度提高，能夠改善圖像的可視性。