[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件的制造方法、襯底處理裝置及程序

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880050799.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN111052312A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小川有人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社國(guó)際電氣
• 主分類號(hào): H01L21/28
• 分類號(hào): H01L21/28
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍;李文嶼

本發(fā)明進(jìn)行下述工序：工序(a)，通過將含有第一金屬的氣體和第一還原氣體以彼此不混合的方式對(duì)表面上具有凹部的襯底進(jìn)行多次供給，從而形成第一金屬膜；工序(b)，通過至少將含有第二金屬的氣體、和與第一還原氣體不同的第二還原氣體以彼此不混合的方式對(duì)襯底進(jìn)行多次供給，從而在第一金屬膜上形成第二金屬膜；及工序(c)，通過對(duì)襯底供給蝕刻氣體，從而至少將第二金屬膜蝕刻。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件的制造方法、襯底處理裝置及程序。

背景技術(shù)

作為半導(dǎo)體器件的制造工序的一個(gè)工序，有時(shí)進(jìn)行下述處理：利用金屬膜將在襯底表面設(shè)置的凹部?jī)?nèi)填埋(例如參見專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-109419號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明的目的在于提供能夠使金屬膜對(duì)在襯底表面設(shè)置的凹部?jī)?nèi)的填埋處理的品質(zhì)、生產(chǎn)率提高的技術(shù)。

用于解決課題的手段

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供下述技術(shù)，其包括下述工序：

工序(a)，通過將含有第一金屬的氣體和第一還原氣體以彼此不混合的方式對(duì)表面上具有凹部的襯底進(jìn)行多次供給，從而形成第一金屬膜；

工序(b)，通過至少將含有第二金屬的氣體、和與第一還原氣體不同的第二還原氣體以彼此不混合的方式對(duì)襯底進(jìn)行多次供給，從而在第一金屬膜上形成第二金屬膜；和

工序(c)，通過對(duì)襯底供給蝕刻氣體，從而至少將第二金屬膜蝕刻。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠使金屬膜對(duì)在襯底表面設(shè)置的凹部?jī)?nèi)的填埋處理的品質(zhì)、生產(chǎn)率提高。

附圖說(shuō)明

[圖1]為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中適合使用的襯底處理裝置的立式處理爐的概略構(gòu)成圖，是以縱截面圖示出處理爐部分的圖。

[圖2]為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中適合使用的襯底處理裝置的立式處理爐的概略構(gòu)成圖，是以圖1的A-A線截面圖示出處理爐部分的圖。

[圖3]為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中適合使用的襯底處理裝置的控制器的概略構(gòu)成圖，是以框圖示出控制器的控制系統(tǒng)的圖。

[圖4]為示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的襯底處理順序的流程圖。

[圖5](a)為示出形成第一W膜之前的晶片的表面結(jié)構(gòu)的截面放大圖，(b)為示出形成第一W膜之后的晶片的表面結(jié)構(gòu)的截面放大圖，(c)為示出在第一W膜上形成第二W膜之后的晶片的表面結(jié)構(gòu)的截面放大圖，(d)為示出蝕刻途中的晶片的表面結(jié)構(gòu)的截面放大圖，(e)為示出蝕刻結(jié)束后的晶片的表面結(jié)構(gòu)的截面放大圖。

[圖6]為示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的襯底處理順序的變形例的流程圖。

[圖7]為示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的襯底處理順序的其他變形例的流程圖。

[圖8]為示出3DNAND的主要部分的截面結(jié)構(gòu)的圖。

[圖9](a)為示出實(shí)施例及比較例中的第一W膜及第二W膜的形成處理的總處理時(shí)間的測(cè)定結(jié)果的圖，(b)為示出第一W膜的成膜速率及第二W膜的成膜速率的測(cè)定結(jié)果的圖。

具體實(shí)施方式

<本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式>

以下，使用圖1～圖4、圖5(a)～圖5(e)，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。