[發明專利]接觸式探針及探針單元

有效

• 申請號: 201880048520.6
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN110945366B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 廣中浩平;相馬一也
• 申請（專利權）人: 日本發條株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 賀征華

本發明涉及的接觸式探針包括：圓筒狀的管部件；軸環，其具有中空部，固定在管部件的長度方向的至少一側的端部的內周側；以及內部導體，其具有與由管部件及軸環形成的臺階部抵接的凸緣部，沿長度方向伸縮自如且貫通管部件。

技術領域

本發明涉及一種接觸式探針及探針單元。

背景技術

以往，在與半導體集成電路的電特性檢查有關的技術領域中，已知有與相對于半導體集成電路的外部連接用電極配置多個接觸式探針(以下，簡稱探針)的探針單元相關的技術。所涉及的探針單元具備多個探針以及形成有收納探針的孔部的探針座(例如，參見專利文獻1)。

在探針單元中，作為上述的探針，使用了相對于半導體集成電路輸入輸出電信號的信號用探針、提供電力的供電用探針以及提供地電位的接地用探針。信號用探針、供電用探針以及接地用探針的外徑會根據其功能而不同。在專利文獻1中，在探針座上，設置有絕緣區塊，該絕緣區塊對應于探針的配置而形成有與各探針的直徑對應的孔即形成上述的孔部的一部分的孔。在探針座中，通過配置與要使用的半導體集成電路的外部連接用電極的配置對應的絕緣區塊，能夠改變各種探針的配置。

專利文獻1:日本特開2016-70863號公報

發明內容

然而，在專利文獻1公開的技術中，在要使用的半導體集成電路的外部連接用電極的配置不同時，每次需要準備形成有對應的孔的絕緣區塊。其結果，隨著可使用的半導體集成電路的外部連接用電極的配置圖案增加，絕緣區塊的數量也會增加。

本發明鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種接觸式探針及探針單元，其能夠對于可改變接觸式探針的配置的探針座，使該探針座的結構簡化。

為了解決上述問題而達到目的，本發明涉及的接觸式探針，包括：圓筒狀的管部件；軸環，其具有中空部，固定在上述管部件的長度方向的至少一側的端部的內周側；以及內部導體，其具有與由上述管部件及上述軸環形成的臺階部抵接的凸緣部，沿長度方向伸縮自如且貫通上述管部件。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述管部件具有使用絕緣性材料而形成的絕緣管。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述管部件還具有設置在上述絕緣管的內周及外周的導電性被膜層。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述管部件使用導電性材料而形成。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述管部件具有：呈雙重管結構的外周側管及內周側管；以及絕緣部件，其分別設置在上述外周側管與內周側管之間的軸向兩端部，由上述外周側管、上述內周側管及上述絕緣部件形成空氣層。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述軸環使用導電性材料而形成。

此外，本發明涉及的接觸式探針，在上述發明中，上述軸環分別設置在上述管部件的兩端部。

此外，本發明涉及的探針單元，包括：信號用探針，其對規定的電路結構進行信號的輸入和輸出；供電用探針，其對上述規定的電路結構提供電力；接地用探針，其對上述規定的電路結構提供地電位；以及導電性的探針座，其形成有能夠使上述信號用探針、上述供電用探針及上述接地用探針插通，且各自呈相互相同的孔形狀的多個孔部，上述信號用探針、上述供電用探針及上述接地用探針分別具有：圓筒狀的管部件；軸環，其具有中空部，固定在上述管部件的長度方向的至少一側的端部的內周側；以及內部導體，其具有與由上述管部件及上述軸環形成的臺階部抵接的凸緣部，沿長度方向伸縮自如且貫通上述管部件，各探針的管部件具有相同外徑。

此外，本發明涉及的探針單元，在上述發明中，上述探針座中，相鄰的上述孔部通過其一部分彼此連通，上述管部件的至少外周面具有導電性，分別貫通相鄰的上述孔部的各探針的上述管部件在上述孔部的連通部分接觸。