[發(fā)明專利]接觸式探針及探針單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880048520.6
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN110945366B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設計）人: 廣中浩平;相馬一也
• 申請（專利權(quán)）人: 日本發(fā)條株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11467
• 代理人: 賀征華

1.一種探針單元，其特征在于，包括：

信號用探針，其對規(guī)定的電路結(jié)構(gòu)進行信號的輸入和輸出；

供電用探針，其對所述規(guī)定的電路結(jié)構(gòu)提供電力；

接地用探針，其對所述規(guī)定的電路結(jié)構(gòu)提供地電位；以及

導電性的探針座，其形成有能夠使所述信號用探針、所述供電用探針及所述接地用探針插通，且各自呈相互相同的孔形狀的多個孔部，

所述信號用探針、所述供電用探針及所述接地用探針分別具有：

圓筒狀的管部件；

軸環(huán)，其具有中空部，固定在所述管部件的長度方向的至少一側(cè)的端部的內(nèi)周側(cè)；以及

內(nèi)部導體，其具有與由所述管部件及所述軸環(huán)形成的臺階部抵接的凸緣部，沿長度方向伸縮自如且貫通所述管部件，

各探針的管部件具有相同外徑，

所述信號用探針的所述管部件由具有規(guī)定介電常數(shù)的介電材料形成，通過調(diào)整所述介電常數(shù)及所述信號用探針的所述管部件的圓筒形狀的外徑，以校正所述信號用探針的特性阻抗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，

所述信號用探針及所述供電用探針的所述管部件具有使用絕緣性材料而形成的絕緣管，

所述接地用探針的所述管部件使用導電性材料而形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針單元，其特征在于，

所述管部件還具有設置在所述絕緣管的內(nèi)周及外周的導電性被膜層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，

所述管部件具有：

呈雙重管結(jié)構(gòu)的外周側(cè)管及內(nèi)周側(cè)管；以及

絕緣部件，其分別設置在所述外周側(cè)管與內(nèi)周側(cè)管之間的軸向兩端部，

由所述外周側(cè)管、所述內(nèi)周側(cè)管及所述絕緣部件形成空氣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，

所述軸環(huán)使用導電性材料而形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，

所述軸環(huán)分別設置在所述管部件的兩端部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的探針單元，其特征在于，

所述探針座中，相鄰的所述孔部通過其一部分彼此連通，

所述管部件的至少外周面具有導電性，

分別貫通相鄰的所述孔部的各探針的所述管部件在所述孔部的連通部分接觸。