[發明專利]接合體及彈性波元件有效
| 申請號： | 201880047134.5 | 申請日： | 2018-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN110945786B | 公開（公告）日： | 2021-02-19 |
| 發明（設計）人： | 后藤萬佐司;多井知義;箕浦舞 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/25 | 分類號： | H03H9/25;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/31;H01L41/337 |
| 代理公司： | 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王軼;鄭雪娜 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 接合 彈性 元件 | ||
1.一種接合體，其具備支撐基板及壓電性材料層，
所述接合體的特征在于，
所述支撐基板包含硅鋁氧氮陶瓷，
所述壓電性材料層的材質為LiAO3，其中，A為選自由鈮及鉭構成的組中的一種以上元素，
所述接合體具備：沿著所述支撐基板與所述壓電性材料層之間的界面而存在的界面層及在所述界面層與所述支撐基板之間所存在的支撐基板側中間層，所述界面層及所述支撐基板側中間層分別以選自由鈮及鉭構成的組中的一種以上元素、氮、氧、鋁以及硅為主成分。
2.根據權利要求1所述的接合體，其特征在于，
所述界面層中的氮比率高于所述支撐基板側中間層中的氮比率。
3.根據權利要求1所述的接合體，其特征在于，
將所述支撐基板中的氮比率設為100時的所述界面層中的氮比率為51以上93以下。
4.根據權利要求2所述的接合體，其特征在于，
將所述支撐基板中的氮比率設為100時的所述界面層中的氮比率為51以上93以下。
5.根據權利要求3所述的接合體，其特征在于，
將所述支撐基板中的氮比率設為100時的所述界面層中的氮比率為60以上84以下。
6.根據權利要求5所述的接合體，其特征在于，
將所述支撐基板中的氮比率設為100時的所述界面層中的氮比率為68以上76以下。
7.根據權利要求1～6中的任意一項所述的接合體，其特征在于，
構成所述支撐基板的硅鋁氧氮陶瓷的組成由Si6－zAlzOzN8－z表示，其中，z為0.5以上4.0以下。
8.一種彈性波元件，其特征在于，具備：
權利要求1～7中的任意一項所述的接合體、以及在所述壓電性材料層上所設置的電極。
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