[發(fā)明專利]基板保持裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880046274.0
• 申請日: 2018-06-25
• 公開（公告）號: CN110870057B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發(fā)明（設計）人: 富田正輝;山川純逸
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J15/06;B65G49/06;B65G49/07
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 王瑋;張豐橋

1.一種基板保持裝置，其特征在于，

所述基板保持裝置具有：

吸引部，該吸引部能夠吸引基板的表面或背面來進行保持；

位置決定部，該位置決定部能夠與所述基板的側面接觸，來推壓所述基板，且能夠對被吸引的所述基板進行定位；以及

驅動部，該驅動部能夠使所述位置決定部與所述基板的側面接觸，

通過利用所述驅動部使所述位置決定部與所述基板的側面接觸，由此所述位置決定部將所述基板定位，

所述驅動部的第一部分能夠與所述基板接觸，

在通過所述吸引部來吸引所述基板的表面或背面時，所述第一部分與所述基板接觸，所述基板對所述驅動部施加力，從而能夠使所述驅動部移動，

通過所述驅動部移動，由此所述驅動部的第二部分能夠使所述位置決定部與所述基板的側面接觸，來推壓所述基板。

2.根據(jù)權利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述驅動部為棒形狀，所述第一部分為所述棒形狀的一個端部，所述第二部分為所述棒形狀的另一個端部，

所述位置決定部具有能夠與所述第二部分接觸的第一部件、和能夠與所述基板的側面接觸的第二部件，

若所述驅動部的所述第一部分與所述基板接觸，且所述驅動部移動，則所述驅動部的所述第二部分使所述位置決定部的所述第一部件移動，

若所述位置決定部的所述第一部件移動，則所述位置決定部的所述第二部件移動，從而與所述基板的側面接觸。

3.根據(jù)權利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述驅動部的第二部分經(jīng)由彈性體，而被安裝于所述驅動部。

4.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述吸引部為伯努利吸引部，該伯努利吸引部對所述基板的表面或背面噴出氣體，由此將接收所噴出的所述氣體的所述基板的表面或背面吸引。

5.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述基板為矩形形狀。

6.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的基板保持裝置，其特征在于，

具有測定傳感器，該測定傳感器測定所述基板的位置。

7.根據(jù)權利要求1～3中任一項所述的基板保持裝置，其特征在于，

能夠保持的所述基板為四邊形，所述位置決定部與所述基板接觸時的接觸部處于所述四邊形的邊上，

所述接觸部處于從所述四邊形的頂點起，到所述接觸部所處在的所述邊的長度的1/4以內(nèi)。

8.一種鍍敷裝置，其特征在于，

所述鍍敷裝置具備：

運送裝置，該運送裝置運送所述基板；

基板裝卸裝置，該基板裝卸裝置對用于保持所述基板的基板保持器進行裝卸所述基板；以及

鍍敷處理部，該鍍敷處理部接收在所述基板裝卸裝置中保持了所述基板的所述基板保持器，并對所述基板實施鍍敷處理，

所述運送裝置具有權利要求1～7中任一項所記載的基板保持裝置，并向所述基板裝卸裝置運送所述基板或者從所述基板裝卸裝置運送所述基板。