[發明專利]調節板、陽極保持器以及基板保持器

有效

• 申請號: 201880045920.1
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN110914482B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 下村直樹;長井瑞樹
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D17/10
• 分類號: C25D17/10;H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王瑋;張豐橋

1.一種調節板，該調節板用于調整陽極與方形基板之間的電流，其特征在于，具有：

主體部，該主體部具有形成方形開口的緣部，所述方形開口供電流通過；和

可裝卸的遮蔽部件，該可裝卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形開口的至少一部分，

所述遮蔽部件包括劃分部件，該劃分部件被構成為將所述方形開口分割成多個分區，

所述調節板具有軸狀的支承部件，該軸狀的支承部件被設置為橫穿所述方形開口，

所述遮蔽部件包括遮蔽板，該遮蔽板可裝卸地安裝于所述支承部件。

2.根據權利要求1所述的調節板，其特征在于，

所述遮蔽板以不接觸于所述主體部的方式可裝卸地安裝于所述支承部件。

3.根據權利要求1所述的調節板，其特征在于，

所述劃分部件對所述方形開口進行劃分而形成多個開口。

4.一種陽極保持器，該陽極保持器被構成為對陽極進行保持，其特征在于，具有：

保持器主體部，該保持器主體部保持所述陽極；

陽極遮罩，該陽極遮罩安裝于所述保持器主體部，具有方形開口，遮蔽所述陽極的周邊部；以及

可裝卸的遮蔽部件，該可裝卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形開口的至少一部分，

所述遮蔽部件包括劃分部件，該劃分部件被構成為將所述方形開口分割成多個分區，

所述陽極保持器具有軸狀的支撐部件，該軸狀的支承部件被設置為橫穿所述方形開口，

所述遮蔽部件包括遮蔽板，該遮蔽板可裝卸地安裝于所述支承部件。

5.根據權利要求4所述的陽極保持器，其特征在于，

所述遮蔽板以不接觸于所述保持器主體部以及所述陽極遮罩的方式可裝卸地安裝于所述支承部件。

6.根據權利要求4所述的陽極保持器，其特征在于，

所述劃分部件對所述方形開口進行劃分而形成多個開口。

7.一種基板保持器，該基板保持器用于保持方形基板，其特征在于，具有：

保持器主體部，該保持器主體部具有形成方形開口的緣部，所述方形開口用于使保持的所述方形基板露出；和

可裝卸的遮蔽部件，該可裝卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形開口的至少一部分，

所述遮蔽部件包括劃分部件，該劃分部件被構成為將所述方形開口分割成多個分區，

所述基板保持器具有軸狀的支承部件，該軸狀的支承部件被設置為橫穿所述方形開口，

所述遮蔽部件包括遮蔽板，該遮蔽板可裝卸地安裝于所述支承部件。

8.根據權利要求7所述的基板保持器，其特征在于，

所述遮蔽板以不接觸于所述保持器主體部的方式可裝卸地安裝于所述支承部件。

9.根據權利要求7所述的基板保持器，其特征在于，

所述劃分部件對所述方形開口進行劃分而形成多個開口。