[發(fā)明專利]磨削裝置、磨削方法以及計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880043516.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110809816A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田村武;児玉宗久
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304;B24B7/04;B24B49/12
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種磨削裝置，其用于磨削基板，其中，

該磨削裝置具有：

基板保持部，其保持基板；以及

環(huán)狀的磨削部，其與保持到所述基板保持部的基板的至少中心部以及周緣部抵接，并磨削該基板，

所述基板保持部和所述磨削部分別設(shè)置有多個(gè)，

多個(gè)所述磨削部中的、至少一個(gè)磨削部的直徑與其他磨削部的直徑不同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其中，

多個(gè)所述磨削部具有對(duì)基板進(jìn)行粗磨的粗磨部和對(duì)粗磨后的基板進(jìn)行精磨的精磨部，

所述精磨部的直徑比所述粗磨部的直徑大。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨削裝置，其中，

多個(gè)所述磨削部具有在粗磨后且是在精磨前對(duì)基板進(jìn)行中磨的中磨部，

所述中磨部的直徑與所述粗磨部的直徑相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其中，

該磨削裝置具有：

檢測(cè)部，其在由多個(gè)所述磨削部磨削了基板之后檢測(cè)在該基板形成的磨痕；以及

檢查部，其基于由所述檢測(cè)部所檢測(cè)的磨痕來(lái)檢查多個(gè)所述磨削部的狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其中，

該磨削裝置具有：

載荷測(cè)定部，其測(cè)定作用于至少所述基板保持部或所述磨削部的載荷；

高度測(cè)定部，其在由所述磨削部磨削了基板之后測(cè)定由所述載荷測(cè)定部測(cè)定的載荷為零之際的所述磨削部的高度位置；以及

算出部，其基于由所述高度測(cè)定部所測(cè)定的所述磨削部的高度位置來(lái)算出接下來(lái)要利用該磨削部進(jìn)行磨削的磨削開(kāi)始位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磨削裝置，其中，

所述載荷測(cè)定部設(shè)置于兩個(gè)部位，

一個(gè)所述載荷測(cè)定部測(cè)定作用于所述基板保持部的載荷，

另一個(gè)所述載荷測(cè)定部測(cè)定作用于所述磨削部的載荷。

7.一種磨削方法，其磨削基板，其中，

該磨削方法具有多個(gè)使環(huán)狀的磨削部與保持到基板保持部的基板的至少中心部以及周緣部抵接、并磨削該基板的磨削工序，

多個(gè)所述磨削工序所使用的多個(gè)所述磨削部中的、至少一個(gè)磨削部的直徑與其他磨削部的直徑不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨削方法，其中，

多個(gè)所述磨削工序具有如下工序：粗磨工序，使用多個(gè)所述磨削部中的粗磨部來(lái)對(duì)基板進(jìn)行粗磨；和精磨工序，其在該粗磨工序之后，使用多個(gè)所述磨削部中的精磨部來(lái)對(duì)基板進(jìn)行精磨，

所述精磨部的直徑比所述粗磨部的直徑大。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磨削方法，其中，

多個(gè)所述磨削工序在所述粗磨工序后且是在所述精磨工序前具有使用多個(gè)所述磨削部中的中磨部來(lái)對(duì)基板進(jìn)行中磨的中磨工序，

所述中磨部的直徑與所述粗磨部的直徑相同。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨削方法，其中，

該磨削方法具有：

檢測(cè)工序，其在多個(gè)所述磨削工序之后，檢測(cè)在基板形成的磨痕；以及

檢查工序，基于在所述檢測(cè)工序檢測(cè)的磨痕檢查多個(gè)所述磨削部的狀態(tài)。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨削方法，其中，

所述磨削工序具有如下工序：

載荷測(cè)定工序，在利用所述磨削部磨削基板之際，測(cè)定作用于至少所述基板保持部或所述磨削部的載荷；

高度測(cè)定工序，在利用所述磨削部對(duì)基板進(jìn)行了磨削之后，測(cè)定在所述載荷測(cè)定工序測(cè)定的載荷為零之際的所述磨削部的高度位置；以及

算出工序，基于在所述高度測(cè)定工序測(cè)定的所述磨削部的高度位置算出接下來(lái)要利用該磨削部進(jìn)行磨削的基板的磨削開(kāi)始位置。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磨削方法，其中，

在所述載荷測(cè)定工序，測(cè)定作用于所述基板保持部的載荷和作用于所述磨削部的載荷這兩者。

13.一種計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，其是能夠讀取的計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，其儲(chǔ)存有在控制部的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行的程序，該控制部控制磨削裝置，以利用該磨削裝置執(zhí)行磨削基板的磨削方法，其中，

所述磨削方法具有多個(gè)使環(huán)狀的磨削部與保持到基板保持部的基板的至少中心部以及周緣部抵接、并磨削該基板的磨削工序，

多個(gè)所述磨削工序所使用的多個(gè)所述磨削部中的、至少一個(gè)磨削部的直徑與其他磨削部的直徑不同。