[發(fā)明專利]光致抗蝕劑組合物和使用其的光致抗蝕劑膜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880040313.6
• 申請日: 2018-11-05
• 公開（公告）號: CN110785705B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸銀石;林敏映;金智慧
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社LG化學(xué)
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/033;G03F7/028;G03F7/11
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 高世豪;梁笑

1.一種光致抗蝕劑組合物，包含光致產(chǎn)酸劑和(甲基)丙烯酸類樹脂，所述(甲基)丙烯酸類樹脂包含(甲基)丙烯酸類重復(fù)單元和鍵合至所述重復(fù)單元的支鏈末端的由以下化學(xué)式1表示的官能團(tuán)：

[化學(xué)式1]

其中，在化學(xué)式1中，

R₁和R₂各自獨(dú)立地為氫、羧基、基于聚氧化烯的官能團(tuán)、具有1至20個碳原子的烷基、或具有6至20個碳原子的芳基，或者R₁和R₂彼此連接以形成具有3至20個碳原子的環(huán)烷基，

其中所述支鏈包含由以下化學(xué)式2表示的官能團(tuán)：

[化學(xué)式2]

其中，在化學(xué)式2中，

R₃為具有1至20個碳原子的烷基、或具有6至30個碳原子的芳基，

L為直接鍵、-O-、-CO-、-S-、-SO₂-、-C(CH₃)₂-、-C(CF₃)₂-、-CONH-、-COO-、-(CH₂)_y-、-O(CH₂)_yO-、-{(CH₂)_yO}_p-、-NH-、-NH(CH₂)_y-NH-、-NH(CH₂)_yO-、-OCH₂-C(CH₃)₂-CH₂O-、-COO-(CH₂)_y-OCO-、或-OCO-(CH₂)_y-COO-，以及

L中的y和p各自獨(dú)立地為1至10的整數(shù)，

其中化學(xué)式1的官能團(tuán)鍵合至化學(xué)式2的R₃，

其中所述(甲基)丙烯酸類重復(fù)單元由以下化學(xué)式4表示：

[化學(xué)式4]

其中，在化學(xué)式4中，

R₄至R₇各自獨(dú)立地為氫或甲基，

R₈為具有4至10個碳原子的烷基，

R₉為由化學(xué)式2表示的官能團(tuán)，

R₁₀為具有3至20個碳原子的環(huán)烷基，以及

a:b:c:d的摩爾比為3至6:0.5至2:2至5:1至5。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中，在化學(xué)式2中，R₃為苯基，L為直接鍵或-{(CH₂)_yO}_p-，以及y和p各自獨(dú)立地為1至5的整數(shù)。