[發(fā)明專利]控制壓實(shí)的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880040183.6
• 申請日: 2018-06-14
• 公開（公告）號: CN110785388A
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·R·伯德特;S·P·馬達(dá)普西;J·N·佩恩
• 申請（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00;C03B17/06
• 代理公司: 31100 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 張璐;項(xiàng)丹

一種控制壓實(shí)度的方法，包括：獲得多個(gè)玻璃帶的多個(gè)工藝條件組，測量從多個(gè)玻璃帶中的每個(gè)玻璃帶切割出的玻璃片的壓實(shí)度值，使壓實(shí)度與工藝條件相關(guān)。所述方法還包括：選擇包括多個(gè)冷卻速率的預(yù)定的冷卻曲線，通過改變所述多個(gè)冷卻速率中的各冷卻速率來修正冷卻曲線，使用修正后的冷卻曲線計(jì)算從拉制的玻璃帶切割出的玻璃片的預(yù)計(jì)壓實(shí)度值，以及重復(fù)修正和預(yù)計(jì)的步驟直到壓實(shí)度最小化。

相關(guān)申請的交叉參引

本申請要求2017年6月14日提交的系列號為62/519,347的美國臨時(shí)申請的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，本文以該申請的內(nèi)容為基礎(chǔ)并通過引用將其全文納入本文，如同在下文完整闡述。

背景

技術(shù)領(lǐng)域

本公開一般涉及用于減少玻璃基材變形的方法，更具體地，涉及最大程度地減少玻璃基材的壓實(shí)。

背景技術(shù)

液晶顯示器(LCD)形式的玻璃顯示面板正用于越來越多的應(yīng)用——從手持電話到電腦顯示器到電視機(jī)顯示器。這些應(yīng)用要求玻璃片具有原始的無缺陷表面。LCD包含密封在一起以形成封套的玻璃薄片。當(dāng)進(jìn)行熱循環(huán)以使構(gòu)成LCD的元件之間保持適當(dāng)?shù)膶?zhǔn)或?qū)R時(shí)，包含這些顯示器的玻璃片的尺寸不變化是極其理想的。

通常，LCD為無定形硅(α-Si)薄膜晶體管(TFT)或多晶硅(ρ-Si或poly-Si)TFT類型。Poly-Si具有顯著更高的驅(qū)動電流和電子遷移率，因此減少了像素的響應(yīng)時(shí)間。此外，可使用ρ-Si加工在玻璃基材上直接建立顯示驅(qū)動電路。相比之下，α-Si需要離散的驅(qū)動芯片，這些芯片必須利用集成電路封裝技術(shù)連接到顯示器外圍。

然而，ρ-Si TFT的制造要求比α-Si TFT更高的加工溫度，因此增加了玻璃在加工期間收縮(壓實(shí))的風(fēng)險(xiǎn)。此外，通過增加像素密度來不斷提高顯示器分辨率也要求相應(yīng)地改進(jìn)玻璃的熱穩(wěn)定性，以確保在制造期間，例如在將薄膜晶體管沉積在玻璃基材上期間，顯示器部件適當(dāng)?shù)貙R。

玻璃制造商常在將玻璃基材運(yùn)送給客戶之前對玻璃基材進(jìn)行熱處理，以使得當(dāng)后續(xù)在客戶的工藝中進(jìn)行熱循環(huán)時(shí)，基材不會收縮或收縮得很少。這種熱處理被稱為“預(yù)收縮”或“預(yù)壓實(shí)”。高溫加工(例如ρ-Si TFT所需的加工)可能需要玻璃基材的長的熱處理時(shí)間以確保低壓實(shí)，例如在600℃下5小時(shí)。再者，這種熱處理還涉及玻璃基材的搬運(yùn)，這增加了基材表面損壞的可能性并增加了總的制造成本。

從量上看，壓實(shí)是玻璃基材在基材平面中展現(xiàn)的每單位長度的長度變化，其是由于熱循環(huán)產(chǎn)生的玻璃結(jié)構(gòu)的細(xì)微變化所致(即，壓實(shí)是由于玻璃的熱經(jīng)歷導(dǎo)致的應(yīng)變，并且與玻璃的假想溫度緊密相關(guān))。在物理學(xué)上，壓實(shí)度可通過下述來確定：在玻璃基材上作標(biāo)記，并且測量標(biāo)記之間的初始距離。然后，使基材經(jīng)受預(yù)定的熱處理并返回到室溫。接著重新測量標(biāo)記之間的距離。然后通過下式給出以百萬分之率(ppm)計(jì)的壓實(shí)度：壓實(shí)度＝10⁶·(熱處理前的距離-熱處理后的距離)/(熱處理前的距離)。

由于壓實(shí)度是LCD面板制造商關(guān)注的問題，因此在過去，隨著增加熔融玻璃流量以增加輸出，制造工藝線性地放大以在冷卻期間有足夠的時(shí)間來使成品基材保持與流量增加前所存在的壓實(shí)度相同。雖然這種方法在一定程度上有效，但是其的缺點(diǎn)在于：該方法可能需要成形主體與從玻璃帶分離出基材的位置之間的距離增加。這些較長的距離要占據(jù)額外的制造空間和資本來實(shí)現(xiàn)。實(shí)際上，由于現(xiàn)有設(shè)施的物理限制，因此增加拉制距離來減少壓實(shí)可限制給定的玻璃成形設(shè)備可用的最大流量。此外，確保合適的壓實(shí)常需要大量的實(shí)驗(yàn)來獲得合適的工藝條件。通過選定的工藝條件來預(yù)計(jì)壓實(shí)度將會是有益的。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本公開的一個(gè)實(shí)施方式，公開了一種控制壓實(shí)的方法，所述方法包括：

a)測量從以不同冷卻速率形成的多個(gè)玻璃帶中切割出的多個(gè)玻璃片的壓實(shí)度；

b)使步驟a)中的測得壓實(shí)度與冷卻速率相關(guān)，以獲得對應(yīng)于多個(gè)溫度的多個(gè)回歸系數(shù)；