[發(fā)明專利]使用倍頻干涉光刻的線柵偏振器制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880038858.3
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN110770614A
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 建峰·陳;克里斯托弗·丹尼斯·本徹;D·馬克萊
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30
• 代理公司: 11006 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 徐金國;趙靜

本公開整體涉及用于使用Markle?Dyson曝光系統(tǒng)和雙重顯影(DTD)倍頻制造線柵偏振器(WGP)的方法和系統(tǒng)。在一個實施方式中，所述方法包括：將光刻膠層沉積在涂覆鋁的顯示器襯底之上；使用Markle?Dyson系統(tǒng)通過雙重顯影將所述光刻膠層圖案化以形成光刻膠圖案；以及將所述光刻膠圖案轉(zhuǎn)移到所述涂覆鋁的顯示器襯底中以制造具有例如小于或等于約100nm的更精細(xì)的間距和增大的頻率的WGP。

背景

領(lǐng)域

本公開的實施方式一般涉及平板顯示器制造工藝。更具體地，公開了用于制造液晶顯示器(LCD)的線柵偏振器的系統(tǒng)和方法。

現(xiàn)有技術(shù)的描述

LCD是使用夾在交叉偏振器之間的液晶的光調(diào)制性質(zhì)來顯示圖像的顯示器。LCD用于廣泛應(yīng)用中，包括但不限于高清晰度電視機、計算機監(jiān)視器和移動裝置。在典型LCD中，液晶盒在兩個線性偏振器之間對準(zhǔn)，這兩個線性偏振器彼此正交地取向，使得這兩者的光軸交叉。偏振器用于通過阻擋內(nèi)反射光進(jìn)入觀看者的眼睛來增強對比度。

常規(guī)地，已經(jīng)使用偏振膜作為線性偏振器。偏振膜允許垂直于偏振器的導(dǎo)體線偏振的光通過，同時反射平行于偏振器的導(dǎo)體線偏振的光。然而，偏振膜非常昂貴。實際上，偏振膜通常占LCD面板的總成本的超過30％。另外地，偏振膜具有較低消光比，這是膜的衰減垂直于膜的透射軸線偏振的光的能力的測量。

最近，已經(jīng)使用線柵偏振器(Wire Grid Polarizer，WGP)將未偏振束轉(zhuǎn)換為具有單一線性偏振的束。WGP在玻璃襯底上包括微觀金屬接線水平陣列，所述陣列選擇性地透射p偏振光，同時反射s偏振光。WGP放置在垂直于入射光束的平面中。平行(s偏振)于接線對準(zhǔn)的電場引起電子的沿所述接線的長度的移動。由于電子在金屬柵中自由地移動，因此WGP在反射光時表現(xiàn)得與金屬表面的方式類似。小部分的能量因在接線中的加熱而損失，并且其余的波沿入射光束向后反射。對于垂直(p偏振)于接線對準(zhǔn)的電場，電子不能跨每個接線的寬度移動太遠(yuǎn)。因此，幾乎沒有能量損失或反射，并且入射光束能夠行進(jìn)穿過WGP。因此，由于透射波現(xiàn)在僅在垂直于接線的方向上具有電場，因此它變?yōu)榫€性偏振的。

另外地，WGP具有比偏振膜更高的消光比，并且因此具有更好的性能。因此，WGP已經(jīng)用于發(fā)光二極管(LED)，諸如OLED和AMOLED。隨著器件尺寸不斷縮小和消費者對更高分辨率器件的需求不斷增長，這些應(yīng)用的WGP生產(chǎn)技術(shù)變得更復(fù)雜，因為線柵需要更細(xì)并具有減小的特征間距，以便避免影響LED的效率或顯示器的色彩分辨率。

因此，需要的是用于制造具有更精細(xì)的特征間距(諸如小于或等于100納米(nm))的WGP的改進(jìn)的方法和系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本公開一般涉及用于使用Markle-Dyson曝光系統(tǒng)和雙重顯影(DTD)倍頻制造線柵偏振器(WGP)的方法和系統(tǒng)。在一個實施方式中，所述方法包括：將光刻膠層沉積在涂覆鋁的顯示器襯底之上；使用Markle-Dyson系統(tǒng)通過雙重顯影將所述光刻膠層圖案化以形成光刻膠圖案；以及將所述光刻膠圖案轉(zhuǎn)移到所述涂覆鋁的顯示器襯底中以制造具有例如小于或等于約100nm的更精細(xì)的間距和增大的頻率的WGP。

在一個實施方式中，公開了一種用于制造線柵偏振器的方法。所述方法包括：將光刻膠層沉積在涂覆鋁的顯示器襯底之上；使用Markle-Dyson系統(tǒng)通過雙重顯影將所述光刻膠層圖案化以形成光刻膠圖案；以及將所述光刻膠圖案轉(zhuǎn)移到所述涂覆鋁的顯示器襯底中。

在另一個實施方式中，公開了一種線柵偏振器制造方法。所述方法包括：將底部抗反射涂覆層沉積在涂覆鋁的顯示器襯底之上；將光刻膠層沉積在所述涂覆鋁的顯示器襯底之上；使用Markle-Dyson系統(tǒng)通過雙重顯影將所述光刻膠層圖案化以形成光刻膠圖案；將所述光刻膠圖案轉(zhuǎn)移到所述涂覆鋁的顯示器襯底中；以及將任何剩余的光刻膠從所述涂覆鋁的顯示器襯底去除。