[發(fā)明專利]檢查系統(tǒng)和檢查系統(tǒng)中的溫度測(cè)定方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880033005.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN110709972B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 望月純;山崎禎人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01K11/12
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

檢查系統(tǒng)(10)具備：檢查裝置(30)，其具有用于載置基板(W)的載置臺(tái)(21)，檢查裝置(30)用于對(duì)載置臺(tái)(21)上的基板(W)進(jìn)行檢查；調(diào)溫機(jī)構(gòu)(63)，其用于對(duì)載置臺(tái)(21)進(jìn)行調(diào)溫；基板收容部(17a)；溫度測(cè)定基板等待部(17c)，其使溫度測(cè)定基板(TW)等待；搬送裝置(18)，其用于將基板(W)和溫度測(cè)定基板(TW)搬送至載置臺(tái)(21)上；以及照相機(jī)(16)，其用于載置臺(tái)(21)上的基板(W)的對(duì)準(zhǔn)。溫度測(cè)定基板(TW)在表面具有狀態(tài)根據(jù)溫度而變化的溫度測(cè)定構(gòu)件(52)，由搬送裝置(18)將溫度測(cè)定基板(TW)搬送至所述載置臺(tái)，并由照相機(jī)(16)拍攝溫度測(cè)定構(gòu)件(52)，根據(jù)溫度測(cè)定構(gòu)件(52)的狀態(tài)變化來測(cè)定溫度測(cè)定基板(TW)的溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢查形成于半導(dǎo)體晶圓等基板上的器件的電氣特性的檢查系統(tǒng)和檢查系統(tǒng)中的溫度測(cè)定方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造工藝中，在半導(dǎo)體晶圓(下面僅記作晶圓)中的全部的工藝結(jié)束的階段，對(duì)形成于晶圓的多個(gè)半導(dǎo)體器件(下面僅記作器件)進(jìn)行電氣檢查。作為進(jìn)行這種檢查的檢查裝置，已知如下一種檢查裝置(例如專利文獻(xiàn)1)：與用于吸附保持晶圓的載置臺(tái)(卡盤頂部)相向地配置具有用于與形成于晶圓的半導(dǎo)體器件接觸的探針的探針卡，向探針卡按壓載置臺(tái)上的晶圓，由此使探針卡的各接觸探針與器件的電極接觸來檢查電氣特性。

另一方面，近來，要求對(duì)大量的半導(dǎo)體晶圓高速地進(jìn)行檢查，從而提出一種具備多個(gè)檢查裝置、收納多個(gè)晶圓的收納容器、以及用于從收納容器向各檢查裝置搬送晶圓的搬送裝置的檢查系統(tǒng)(例如專利文獻(xiàn)2)。

另外，在這種檢查裝置、檢查系統(tǒng)中，尤其在進(jìn)行高溫檢查、低溫檢查的情況下，晶圓的溫度、溫度分布是很重要的。因此，在開始檢查前等通過接觸型或非接觸型的溫度計(jì)來測(cè)定載置臺(tái)表面的溫度。

另外，雖然不是進(jìn)行器件的檢查的裝置的例子，但在專利文獻(xiàn)3中，作為太陽(yáng)能電池模塊的檢查裝置，公開了具有遮蔽太陽(yáng)能電池模塊的單元以及在遮蔽的狀態(tài)下探測(cè)太陽(yáng)能電池模塊的溫度的單元的裝置，作為探測(cè)溫度的單元，記載了使用熱敏紙、涂布有根據(jù)溫度變化而變色的涂料的標(biāo)簽等。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-140241號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2013-254812號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開2001-24204號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

然而，在利用接觸型或非接觸型的溫度計(jì)來測(cè)定載置臺(tái)表面的溫度的情況下，必須在使裝置停止的狀態(tài)下進(jìn)行，導(dǎo)致吞吐量下降。另外，不是測(cè)定晶圓的實(shí)際的溫度，因此測(cè)定精度未必高。

另外，在專利文獻(xiàn)3的技術(shù)中，由具有探測(cè)溫度的單元的檢查裝置直接安裝于測(cè)溫對(duì)象，因此精度高，但即使將該技術(shù)應(yīng)用于器件的檢查，也還是在使裝置停止的狀態(tài)下進(jìn)行。

通過在檢查系統(tǒng)中搭載紅外線照相機(jī)，能夠不使裝置停止地進(jìn)行在線的溫度測(cè)定，但需要新的裝置設(shè)計(jì)，從而成本增高。

因而，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在線且高精度地、并且不使用新的設(shè)備地掌握檢查時(shí)的被檢查基板的溫度的檢查系統(tǒng)和檢查系統(tǒng)中的溫度測(cè)定方法。