[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201880031903.2
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN110651124B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 橋本建治;井上英晃;柴山浩司;鈴木敏生
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: F04C29/04
• 分類號: F04C29/04;B22D19/00;F04C25/02
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

本發明提供一種真空泵，其包括具有簡便、冷卻效率良好、生產率良好的冷卻結構的殼體。本發明的一個實施方式的真空泵具有泵殼體和冷卻管。所述泵殼體由鑄鐵構成。所述冷卻管具有外周面和內周面，并由不銹鋼構成。所述冷卻管貫通所述泵殼體，與所述泵殼體密接的所述外周面由敏化層構成。該真空泵是將由鑄鐵構成的泵殼體鑄造在由不銹鋼構成的冷卻管的周圍而形成的。在冷卻管的外周面設置敏化層，敏化層與泵殼體密接，泵殼體高效地被冷卻。

技術領域

本發明涉及一種真空泵。

背景技術

作為容積型的干式真空泵，已知有例如雙螺桿泵。此種螺桿泵具有一對螺桿轉子、收容一對螺桿轉子的殼體和使一對螺桿轉子旋轉的驅動機構。通過這一對螺桿轉子旋轉，氣體從殼體的進氣口被輸送到排氣口，從而真空容器內的氣體被排出(例如，參考專利文獻1)。

有時殼體在一對螺桿轉子長時間一直工作的情況下被加熱成高溫。因此，殼體通常采用風冷方式或水冷方式進行冷卻。并且，在希望真空泵緊湊化的情況下，在作為其一部分的殼體中如何形成簡便且高效的冷卻結構變得重要。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-185778號公報。

發明內容

發明要解決的問題

關于上述冷卻結構，由于需要簡便的冷卻結構，所以需要采用循環型冷卻結構。另外，作為冷卻介質，一般使用冷卻效率比油、冷卻液高且容易處理的水。另外，若冷卻介質是水，則適合對水的耐受性高的不銹鋼制的冷卻管。但是，在使用不銹鋼制的冷卻管的情況下，重要的是設法使不銹鋼制的冷卻管與殼體均勻地密接，并且不使其敏化至不銹鋼制的冷卻管的內周面。

鑒于如上這樣的情況，本發明的目的在于提供一種真空泵，其包括具有簡便、冷卻效率良好、生產率良好的冷卻結構的殼體。

用于解決問題的方案

為了達到上述目的，本發明的一個實施方式的真空泵具有：泵殼體和冷卻管。上述泵殼體由鑄鐵構成。上述冷卻管具有外周面和內周面，并由不銹鋼構成。上述冷卻管貫通上述泵殼體，與上述泵殼體密接的上述外面由敏化層構成。

該真空泵是將由鑄鐵構成的泵殼體鑄造在由不銹鋼構成的冷卻管的周圍而形成的。由此，簡便地形成了具有貫通泵殼體的冷卻管的真空泵。進而，在冷卻管的外周面設置敏化層，敏化層與泵殼體密接，泵殼體高效地被冷卻。

在上述真空泵中可以進一步具有收容在上述泵殼體內的第一螺桿轉子和第二螺桿轉子，該第一螺桿轉子具有螺旋狀的第一齒部，第二螺桿轉子具有與上述第一齒部嚙合的螺旋狀的第二齒。

如果是這種真空泵，則即使使一對螺桿轉子長時間工作，泵殼體也能夠通過設置在泵殼體的冷卻管而高效地被冷卻。

在上述真空泵中，上述冷卻管具有第一冷卻管部和與上述第一冷卻管部并列的第二冷卻管部。上述第一螺桿轉子和上述第二螺桿轉子被上述第一冷卻管部和上述第二冷卻管部所夾持。

如果是這種真空泵，則在泵殼體中以夾持一對螺桿轉子的方式設置第一冷卻管部和第二冷卻管部。由此，泵殼體被均勻地冷卻。

在上述真空泵中，上述冷卻管還具有連接管部，該連接管部對上述第一冷卻管部和上述第二冷卻管部進行連結，并設置在上述泵殼體之外。上述第一冷卻管部、上述連接管部和上述第二冷卻管部被依次串聯連結，并構成為一體。

如果是這種真空泵，則由于冷卻管由第一冷卻管部、連接管部和第二冷卻管部串聯地連接，并構成為一體，因此冷卻管成為簡便的結構。

在上述真空泵中，上述冷卻管的厚度可以是1mm以上且5mm以下。