[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201880031903.2
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN110651124B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 橋本建治;井上英晃;柴山浩司;鈴木敏生
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: F04C29/04
• 分類號: F04C29/04;B22D19/00;F04C25/02
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

1.一種真空泵，其具有：

泵殼體，其由鑄鐵構成；以及

冷卻管，其具有外周面和內周面并由不銹鋼構成，所述冷卻管貫通所述泵殼體并使液態介質通過，與所述泵殼體密接的所述外周面與所述內周面相比優先由敏化層構成，所述敏化層與所述泵殼體產生固溶，

所述冷卻管的厚度為1mm以上且5mm以下，

所述泵殼體的容積除以如下乘積而得到的值為30以上且300以下，所述乘積是將所述冷卻管的厚度乘以所述冷卻管與所述泵殼體相接的面積所得到的值，

在所述冷卻管的所述內周面沒有形成所述敏化層，或者難以與在所述外周面同樣程度地形成所述敏化層。

2.一種真空泵，其具有：

泵殼體，其由鑄鐵構成；以及

冷卻管，其具有外周面和內周面并由不銹鋼構成，所述冷卻管貫通所述泵殼體并使液態介質通過，與所述泵殼體密接的所述外周面與所述內周面相比優先由所述不銹鋼和所述鑄鐵各自的合金組成發生了變化的層構成，所述層具有至少0.3mm的厚度，所述層與所述泵殼體產生固溶，

所述冷卻管的厚度為1mm以上且5mm以下，

所述泵殼體的容積除以如下乘積而得到的值為30以上且300以下，所述乘積是將所述冷卻管的厚度乘以所述冷卻管與所述泵殼體相接的面積所得到的值，

在所述冷卻管的所述內周面沒有形成由所述不銹鋼和所述鑄鐵各自的合金組成發生了變化的層，或者難以與在所述外周面同樣程度地形成由所述不銹鋼和所述鑄鐵各自的合金組成發生了變化的層，

所述不銹鋼和所述鑄鐵各自的合金組成發生了變化的層是所述不銹鋼與所述鑄鐵接觸并被加熱到500℃以上且850℃以下而生成的層。

3.根據權利要求1或2所述的真空泵，其中，

還具有收容在所述泵殼體內的第一螺桿轉子和第二螺桿轉子，

所述第一螺桿轉子具有螺旋狀的第一齒，所述第二螺桿轉子具有與所述第一齒嚙合的螺旋狀的第二齒。

4.根據權利要求3所述的真空泵，其中，

所述冷卻管具有第一冷卻管部和與所述第一冷卻管部并列的第二冷卻管部，

所述第一螺桿轉子和所述第二螺桿轉子被所述第一冷卻管部和所述第二冷卻管部所夾持。

5.根據權利要求4所述的真空泵，其中，

所述冷卻管還具有連接管部，所述連接管部對所述第一冷卻管部和所述第二冷卻管部進行連結，并設置在所述泵殼體之外，

所述第一冷卻管部、所述連接管部和所述第二冷卻管部被依次串聯連結，并構成為一體。

6.根據權利要求4所述的真空泵，其中，

在所述第一冷卻管部和所述第二冷卻管部各自的所述外周面設置有至少1個凹陷。

7.根據權利要求1所述的真空泵，其中，

所述敏化層的厚度是0.3mm。

8.一種真空泵的制造方法，包括：

將由不銹鋼構成的冷卻管裝入模具中，所述冷卻管具有外周面和內周面并使液態介質通過；

向所述模具注入熔融的鑄鐵；以及

在通過使所述熔融的鑄鐵與所述冷卻管接觸并且將所述熔融的鑄鐵固化來制造由鑄鐵構成且被所述冷卻管貫通的一體的泵殼體時，將所述冷卻管的厚度設為1mm以上且5mm以下，將所述泵殼體的容積除以如下乘積而得到的值設定為30以上且300以下，所述乘積是將所述冷卻管的厚度乘以所述冷卻管與所述泵殼體相接的面積所得到的值，形成使所述冷卻管的外周面與所述內周面相比優先產生與所述泵殼體的固溶的敏化層，

在所述冷卻管的所述內周面沒有形成所述敏化層，或者難以與在所述外周面同樣程度地形成所述敏化層。

9.根據權利要求8所述的真空泵的制造方法，其中，

在500℃以上且850℃以下形成所述敏化層。