[發明專利]具有凹凸部的壓力傳感器及其制造方法

在審

• 申請號: 201880031318.2
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN110678724A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 金周镕;崔敏起
• 申請（專利權）人: 崇實大學校產學協力團
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;H01L41/113;G01L13/02
• 代理公司: 11205 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 延美花;臧建明

公開具有凹凸部的壓力傳感器及其制造方法。公開的壓力傳感器是感測垂直方向的壓力的壓力傳感器，包括第一壓力傳感器部及第二壓力傳感器部，所述第一壓力傳感器部及所述第二壓力傳感器部層疊，所述第一壓力傳感器部的上面及所述第二壓力傳感器部的下面形成有凹凸部。

技術領域

本發明的實施例涉及將形成有凹凸部的壓力傳感器部層疊成多層實現多種感測性能的壓力傳感器及其制造方法。

背景技術

壓力傳感器是感測垂直方向的壓力的裝置，按感測壓力的原理存在多種類型，作為一例有壓阻型壓力傳感器、壓電型壓力傳感器、電容型壓力傳感器、織物壓力傳感器等。尤其，利用橡膠的壓力傳感器(以下稱為“橡膠壓力傳感器”)通過監控隨著橡膠中所含的導電粒子移動發生的電子信號的變化感測壓力。

另外，橡膠壓力傳感器的壓力敏感度通過壓力彈性系數(模量)或橡膠中所含的導電粒子的量得到調節。即，壓力彈性系數越小或導電粒子的量越多，則壓力敏感度越高，壓力彈性系數越大或導電粒子的量越少，則壓力敏感度越低。其如圖1所示。

在此，具有低壓力彈性系數或導電粒子的量多的橡膠壓力傳感器(圖1的(a))是壓力敏感度高的傳感器，最小感測壓力及最大感測壓力低。換而言之，具有高壓力敏感度的橡膠壓力傳感器具有能夠對低壓力發生反應，但無法對高壓力發生反應的特征。

并且，具有高壓力彈性系數或導電粒子的量少的橡膠壓力傳感器(圖1的(b))是敏感度低的傳感器，最小感測壓力及最大感測壓力高。換而言之，具有低壓力敏感度的橡膠壓力傳感器具有能夠對高壓力發生反應，但無法對低壓力發生反應的特征。

即，以上說明的現有的單層的橡膠壓力傳感器由于最小感測壓力及最大感測壓力都低(圖1的(a))或最小感測壓力及最大感測壓力都高(圖1的(b))，因此具有感測壓力的范圍有限的問題。

發明內容

技術問題

為了解決如上所述的現有技術的問題，本發明提供一種將形成有凹凸部的壓力傳感器部層疊成多層以實現多種感測性能的壓力傳感器及其制造方法。

本領域技術人員可通過以下實施例導出本發明的其他目的。

技術方案

用于達成上述目的的本發明的優選的一個實施例，提供一種壓力傳感器，是感測垂直方向的壓力的壓力傳感器，其特征在于包括第一壓力傳感器部及第二壓力傳感器部，所述第一壓力傳感器部及所述第二壓力傳感器部層疊，所述第一壓力傳感器部的上面及所述第二壓力傳感器部的下面形成有凹凸部。

并且，根據本發明的另一實施例，提供一種壓力傳感器，是感測垂直方向的壓力的壓力傳感器，其特征在于包括層疊成N(3以上的整數)個以上的層的N個壓力傳感器部，所述N個壓力傳感器部中最下層的壓力傳感器部的上面、最上層的壓力傳感器部的下面及除所述最下層的壓力傳感器部及所述最上層的壓力傳感器部以外的其余壓力傳感器部的上面及下面形成有凹凸部。

并且，根據本發明的又一實施例，提供一種壓力傳感器的制造方法，是感測垂直方向的壓力的壓力傳感器的制造方法，其特征在于包括：在多個壓力傳感器部的上面及下面中至少一個面形成凹凸部的步驟；以及層疊形成有所述凹凸部的多個壓力傳感器部的步驟，其中，所述凹凸部包括凸出區域及凹陷區域，所述多個壓力傳感器部中壓力傳感器部A及壓力傳感器部B鄰接，所述壓力傳感器部A的凸出區域插入到對應的所述壓力傳感器部B的凹陷區域，所述壓力傳感器部B的凸出區域插入到對應的所述壓力傳感器部A的凹陷區域。

技術效果

本發明的壓力傳感器具有能夠實現多種感測性能的優點。

并且，應理解本發明的效果不限于上述效果，而是包括能夠從本發明的具體說明或專利權利要求范圍記載的發明的構成推論的所有效果。

附圖說明