[發(fā)明專(zhuān)利]具有凹凸部的壓力傳感器及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880031318.2
• 申請(qǐng)日: 2018-02-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110678724A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金周镕;崔敏起
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 崇實(shí)大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)
• 主分類(lèi)號(hào): G01L1/18
• 分類(lèi)號(hào): G01L1/18;H01L41/113;G01L13/02
• 代理公司: 11205 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 延美花;臧建明

1.一種壓力傳感器，是感測(cè)垂直方向的壓力的壓力傳感器，其特征在于：

包括第一壓力傳感器部及第二壓力傳感器部，

所述第一壓力傳感器部及所述第二壓力傳感器部層疊，所述第一壓力傳感器部的上面及所述第二壓力傳感器部的下面形成有凹凸部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一壓力傳感器部及所述第二壓力傳感器部的壓力彈性系數(shù)及每單位面積內(nèi)導(dǎo)電粒子的量中的至少一個(gè)互異。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于：

形成于所述第一壓力傳感器部的上面的凹凸部包括至少一個(gè)第一凸出區(qū)域及至少一個(gè)第一凹陷區(qū)域，形成于所述第二壓力傳感器部的下面的凹凸部包括至少一個(gè)第二凸出區(qū)域及至少一個(gè)第二凹陷區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述至少一個(gè)第一凸出區(qū)域分別插入到對(duì)應(yīng)的所述至少一個(gè)第二凹陷區(qū)域，所述至少一個(gè)第二凸出區(qū)域分別插入到對(duì)應(yīng)的所述至少一個(gè)第一凹陷區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述至少一個(gè)第一凸出區(qū)域及所述至少一個(gè)第二凸出區(qū)域分別具有不同的尺寸。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第二壓力傳感器部的壓力彈性系數(shù)小于所述第一壓力傳感器部的壓力彈性系數(shù)，所述第二壓力傳感器部的所述每單位面積內(nèi)導(dǎo)電粒子的量大于所述第一壓力傳感器部的所述每單位面積內(nèi)導(dǎo)電粒子的量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述第一壓力傳感器部及所述第二壓力傳感器部分別為導(dǎo)電橡膠材質(zhì)。

8.一種壓力傳感器，是感測(cè)垂直方向的壓力的壓力傳感器，其特征在于：

包括層疊成N(3以上的整數(shù))個(gè)以上的層的N個(gè)壓力傳感器部，

所述N個(gè)壓力傳感器部中最下層的壓力傳感器部的上面、最上層的壓力傳感器部的下面及除所述最下層的壓力傳感器部及所述最上層的壓力傳感器部以外的其余壓力傳感器部的上面及下面形成有凹凸部。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述N個(gè)壓力傳感器部中各壓力傳感器部的壓力彈性系數(shù)互異，層疊順序以壓力彈性系數(shù)的大小為基準(zhǔn)確定，所述多個(gè)壓力傳感器部從所述N個(gè)壓力傳感器部的壓力彈性系數(shù)大的順序?qū)盈B。

10.一種壓力傳感器的制造方法，是感測(cè)垂直方向的壓力的壓力傳感器的制造方法，其特征在于，包括：

在多個(gè)壓力傳感器部的上面及下面中至少一個(gè)面形成凹凸部的步驟；以及

層疊形成有所述凹凸部的多個(gè)壓力傳感器部的步驟，

其中，所述凹凸部包括凸出區(qū)域及凹陷區(qū)域，所述多個(gè)壓力傳感器部中壓力傳感器部A及壓力傳感器部B鄰接，所述壓力傳感器部A的凸出區(qū)域插入到對(duì)應(yīng)的所述壓力傳感器部B的凹陷區(qū)域，所述壓力傳感器部B的凸出區(qū)域插入到對(duì)應(yīng)的所述壓力傳感器部A的凹陷區(qū)域。