[發明專利]彈性波元件及其制造方法有效
| 申請號： | 201880025872.X | 申請日： | 2018-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN110574290B | 公開（公告）日： | 2021-01-15 |
| 發明（設計）人： | 多井知義;滑川政彥;吉野隆史 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/25 | 分類號： | H03H9/25;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王軼;鄭雪娜 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彈性 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一種彈性波元件，其具備：
壓電性材料基板、
所述壓電性材料基板上的電極、
支撐基板、以及
接合層，該接合層將所述壓電性材料基板與所述支撐基板接合，
所述彈性波元件的特征在于，
所述接合層包含水晶，
在所述接合層與所述壓電性材料基板之間具備壓電性材料基板側中間層，該壓電性材料基板側中間層包含選自由五氧化鉭、五氧化鈮、氧化鈦及高電阻硅構成的組中的一種以上材質，
在所述接合層與所述支撐基板之間具備支撐基板側中間層，該支撐基板側中間層包含選自由五氧化鉭、五氧化鈮、氧化鈦及高電阻硅構成的組中的一種以上材質。
2.根據權利要求1所述的彈性波元件，其特征在于，
所述接合層的厚度為0.05μm以上30μm以下。
3.根據權利要求1或2所述的彈性波元件，其特征在于，
所述支撐基板包含選自由硅、硅鋁氧氮陶瓷、多鋁紅柱石、藍寶石及透光性氧化鋁構成的組中的材質。
4.一種彈性波元件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：
將壓電性材料基板與水晶板接合的工序；
對所述水晶板進行加工而形成接合層的工序；
在所述接合層與支撐基板之間設置支撐基板側中間層的工序，該支撐基板側中間層包含選自由五氧化鉭、五氧化鈮、氧化鈦及高電阻硅構成的組中的一種以上材質；
通過采用了中性束的表面活化法而將所述支撐基板與所述支撐基板側中間層接合的工序；以及
在所述壓電性材料基板上形成電極的工序。
5.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，
使所述接合層的厚度為0.05μm以上30μm以下。
6.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，
包括在所述壓電性材料基板與所述水晶板之間設置壓電性材料基板側中間層的工序，該壓電性材料基板側中間層包含選自由五氧化鉭、五氧化鈮、氧化鈦及高電阻硅構成的組中的一種以上材質。
7.根據權利要求5所述的制造方法，其特征在于，
包括在所述壓電性材料基板與所述水晶板之間設置壓電性材料基板側中間層的工序，該壓電性材料基板側中間層包含選自由五氧化鉭、五氧化鈮、氧化鈦及高電阻硅構成的組中的一種以上材質。
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