[發(fā)明專利]廢氣的減壓除害裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880025531.2
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN110573234A
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 前田昌志;吉田哲久;柳澤道彥;塚田勉;今村啟志
• 申請（專利權(quán)）人: 北京康肯環(huán)保設(shè)備有限公司
• 主分類號: B01D53/76
• 分類號: B01D53/76;B01D53/46;B01D53/68;F23G7/06;H01L21/02
• 代理公司: 11038 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 劉楊

本發(fā)明提供能夠使稀釋用的氮氣的使用極小化、能量的利用效率和經(jīng)濟性優(yōu)異的廢氣的除害裝置。即，本發(fā)明的廢氣的減壓除害裝置具有反應(yīng)筒(16)，該反應(yīng)筒(16)將經(jīng)由真空泵(14)從廢氣產(chǎn)生源(12)供給的廢氣(E)在形成于其內(nèi)部的廢氣處理空間(16a)中通過電熱加熱器(18)或等離子體加熱或激發(fā)而進(jìn)行分解和/或反應(yīng)處理。在該反應(yīng)筒(16)的廢氣出口(20)側(cè)連接有從上述真空泵(14)的排氣口到上述反應(yīng)筒(16)的內(nèi)部進(jìn)行減壓的后級真空泵(22)。由水封泵構(gòu)成該后級真空泵(22)，并且設(shè)置用清洗水(W)對上述反應(yīng)筒(16)的廢氣流路的下游端側(cè)進(jìn)行水洗的水洗部件(24)。然后，將從該水洗部件(24)供給的清洗水(W)作為上述后級真空泵(22)的密封水。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明主要涉及適合于從電子產(chǎn)業(yè)的制造工藝排出的可燃性氣體、有毒氣體、溫室效應(yīng)氣體等有害的廢氣的處理的廢氣的除害裝置。

背景技術(shù)

在制造半導(dǎo)體、液晶等的電子產(chǎn)業(yè)中，使用氮化硅膜CVD、氧化硅膜CVD、氮氧化硅膜CVD、TEOS氧化膜CVD、高介電常數(shù)膜CVD、低介電常數(shù)膜CVD及金屬膜CVD等各種CVD工藝。

其中，例如在硅類薄膜的形成中，使用主要使用了具有爆炸性、毒性的硅烷類氣體的CVD法。該CVD法中使用的包含上述硅烷類氣體的工藝氣體在CVD工藝中被使用后，作為廢氣在下述專利文獻(xiàn)1所記載那樣的除害裝置中被無害化，但以往以來，在該除害裝置的近前，為了將廢氣中的硅烷類氣體稀釋至爆炸界限以下而投入了大量的稀釋用氮氣。

在此，在典型的氮氧化硅膜CVD中使用SiH₄/NH₃/N₂O＝1slm/10slm/10slm(slm；standard liter per minute，1atm、以升表示0℃時的每1分鐘的流量的單位)，但由于SiH₄的爆炸范圍為1.3％～100％，因此從CVD工藝排出的這樣的氣體需要立即用稀釋用氮氣稀釋約76倍左右。如果進(jìn)行該稀釋，則能夠利用以往的燃燒方式、大氣壓等離子體方式的熱分解裝置安全且可靠地進(jìn)行除害處理。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-333247號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

但是，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中存在如下的問題。

即，將如上述那樣由氮氣稀釋了的包含硅烷類氣體的廢氣整體加熱至分解溫度所需的能量需要僅加熱包含稀釋前的硅烷類氣體的廢氣時的約76倍的能量。即，在以往的需要用氮氣稀釋的除害工藝中，不僅因伴隨著大量的氮氣的使用而導(dǎo)致成本上升，而且也不得不對與廢氣的除害沒有直接關(guān)系的氮氣進(jìn)行加熱，因此能量效率低，還導(dǎo)致電力或燃料等的成本上升。

因此，本發(fā)明的主要目的在于，提供一種能夠在不損害安全性的情況下使稀釋用的氮氣的使用極小化、能量的利用效率和經(jīng)濟性優(yōu)異的廢氣的除害裝置。

用于解決課題的技術(shù)方案

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明通過在減壓下進(jìn)行廢氣的除害來應(yīng)對。即，本發(fā)明例如如圖1及圖2所示，如下那樣地構(gòu)成廢氣的減壓除害裝置。

本發(fā)明的廢氣的減壓除害裝置具有反應(yīng)筒16，該反應(yīng)筒16在形成于其內(nèi)部的廢氣處理空間16a中利用電熱加熱器18或等離子體對經(jīng)由真空泵14從廢氣產(chǎn)生源12供給的廢氣E加熱或激發(fā)而進(jìn)行分解和/或反應(yīng)處理。在該反應(yīng)筒16的廢氣出口20側(cè)連接有從上述真空泵14的排氣口到上述反應(yīng)筒16的內(nèi)部進(jìn)行減壓的后級真空泵22。該后級真空泵22由水封泵構(gòu)成，并且設(shè)置用清洗水W對上述反應(yīng)筒16的廢氣流路的下游端側(cè)進(jìn)行水洗的水洗部件24。然后，將從該水洗部件24供給到上述反應(yīng)筒16的廢氣流路的下游端側(cè)的清洗水W作為上述后級真空泵22的密封水。

本發(fā)明例如起到如下的作用。