[發(fā)明專利]廢氣的減壓除害裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880025531.2 | 申請日： | 2018-05-02 |
| 公開（公告）號： | CN110573234A | 公開（公告）日： | 2019-12-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 前田昌志;吉田哲久;柳澤道彥;塚田勉;今村啟志 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京康肯環(huán)保設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/76 | 分類號： | B01D53/76;B01D53/46;B01D53/68;F23G7/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 11038 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 劉楊 |
| 地址： | 100052 北京市朝陽區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反應(yīng)筒 真空泵 廢氣 除害裝置 減壓 清洗水 等離子體加熱 氮?dú)?/a> 電熱加熱器 廢氣出口 廢氣處理 廢氣流路 側(cè)連接 產(chǎn)生源 密封水 排氣口 水封泵 下游端 稀釋 分解 激發(fā) | ||
1.一種廢氣的減壓除害裝置，是具備反應(yīng)筒(16)和后級真空泵(22)的廢氣(E)的減壓除害裝置，
該反應(yīng)筒(16)將經(jīng)由真空泵(14)從廢氣產(chǎn)生源(12)供給的廢氣(E)在形成于所述反應(yīng)筒(16)的內(nèi)部的廢氣處理空間(16a)中通過電熱加熱器(18)或等離子體進(jìn)行加熱或激發(fā)而進(jìn)行分解和/或反應(yīng)處理；
該后級真空泵(22)與所述反應(yīng)筒(16)的廢氣出口(20)側(cè)連接，從所述真空泵(14)的排氣口到所述反應(yīng)筒(16)的內(nèi)部進(jìn)行減壓，
其特征在于，
由水封泵構(gòu)成所述后級真空泵(22)，并且設(shè)置用清洗水(W)對所述反應(yīng)筒(16)的廢氣流路的下游端側(cè)進(jìn)行水洗的水洗部件(24)，
將從所述水洗部件(24)供給到所述反應(yīng)筒(16)的廢氣流路的下游端側(cè)的清洗水(W)作為所述后級真空泵(22)的密封水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣的減壓除害裝置，其特征在于，
該廢氣的減壓除害裝置設(shè)置有分解/反應(yīng)輔助劑供給部件(26)，該分解/反應(yīng)輔助劑供給部件(26)向所述反應(yīng)筒(16)的內(nèi)部供給選自由水分、空氣、O2、H2或碳化氫氣體構(gòu)成的組的至少1種作為分解/反應(yīng)輔助劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的廢氣的減壓除害裝置，其特征在于，
在所述反應(yīng)筒(16)的內(nèi)部設(shè)置有撣落要堆積的粉塵的粉塵撣落部件(28)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的廢氣的減壓除害裝置，其特征在于，
該廢氣的減壓除害裝置還設(shè)置有在減壓氣氛中對導(dǎo)入所述反應(yīng)筒(16)的廢氣(E)進(jìn)行水洗的濕式的入口洗滌器(50)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的廢氣的減壓除害裝置，其特征在于，
利用循環(huán)泵(54)使在所述入口洗滌器(50)中使用的洗滌器水(SW)循環(huán)，并且將循環(huán)的洗滌器水(SW)的一部分作為清洗水(W)供給至所述水洗部件(24)。
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