[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880024056.7
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN110494948A
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 榎本裕久;鈴木渡;小柳宗和;羽根田茂;菊池秀樹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;F16F7/01;F16F15/02;F16F15/04;H01J37/16
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張敬強(qiáng);金成哲<國際申請>=PCT/JP

本發(fā)明提供在環(huán)境聲音等干擾作用于裝置而使試樣臺振動時，在維持使該試樣臺的振動降低的支撐部件的剛性的狀態(tài)下賦予衰減的技術(shù)。本公開的帶電粒子束裝置具備能夠移動試樣的試樣臺、使該試樣臺的振動衰減的衰減部、以及容納試樣臺和衰減部的試樣室。在該帶電粒子束裝置中，試樣臺和衰減部水平配置。另外，試樣臺形成被夾在衰減部與箱體的第一側(cè)面之間而被支撐的結(jié)構(gòu)，在衰減部的箱體的內(nèi)部填充有多個摩擦體(圖2)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及帶電粒子束裝置。

背景技術(shù)

通常，帶電粒子束裝置多載置于房間等的地板。在這樣的設(shè)置環(huán)境中，若對帶電粒子束裝置作用地板振動、環(huán)境聲音等干擾，則經(jīng)由試樣室，振動傳遞至試樣臺，產(chǎn)生圖像抖動。為了降低該振動，考慮了各種方法。例如，專利文獻(xiàn)1公開了介于載置試樣的載物臺與試樣室壁之間的減震器。另外，專利文獻(xiàn)2為在其它工業(yè)用機(jī)器上的利用摩擦降低振動的方法，但也公開了設(shè)置于建筑物與地基(地面)之間的隔震裝置。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國際公開第00/16371號

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006－242212號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

就試樣臺而言，從使用用途的觀點出發(fā)，僅將單側(cè)固定于試樣室，容易從試樣室抽出。因此，試樣臺為懸臂構(gòu)造，設(shè)置試樣的試樣臺前端容易振動。因此，從試樣室向試樣臺前端伸出強(qiáng)度高的支撐部件進(jìn)行支撐。

但是，根據(jù)專利文獻(xiàn)1，填充高粘性流體，將減震器設(shè)置于試樣臺前端。該減震器封入有高粘性流體，因此在圓柱狀的凸形部件與凹形部件之間夾著環(huán)狀的橡膠部件，存在雖然附加了衰減，但是導(dǎo)致剛性大幅降低的問題。

另外，根據(jù)專利文獻(xiàn)2，在橡膠和鋼板沿鉛垂方向?qū)盈B而成的層疊體內(nèi)部設(shè)置空洞，在該內(nèi)部填充有球體等摩擦體。由于為利用橡膠支撐的隔震構(gòu)造，因此剛性低。因此，存在無法在維持試樣臺的支撐部件要求的那樣高的剛性的狀態(tài)下賦予衰減。

本公開鑒于這樣的狀況而做成，其提供一種技術(shù)，在環(huán)境聲音等干擾作用于裝置而使試樣臺振動時，在維持使該試樣臺的振動降低的支撐部件的剛性的狀態(tài)下，賦予衰減。

用于解決課題的方案

本公開的帶電粒子束裝置具備能夠移動試樣的試樣臺、使該試樣臺的振動衰減的衰減部、以及容納試樣臺和衰減部的試樣室。在該帶電粒子束裝置中，試樣臺和衰減部水平配置。另外，試樣臺形成被夾在衰減部與試樣室的第一側(cè)面之間而被支撐的結(jié)構(gòu)，在衰減部的箱體的內(nèi)部填充有多個摩擦體。

根據(jù)本說明書的記載、附圖，本公開相關(guān)的其它特征將變得明了。另外，本公開的方案通過要素及多種要素的組合以及以下的詳細(xì)記載和附加的權(quán)利要求書的方案達(dá)成而實現(xiàn)。

本說明書的記載只是典型的事例，需要理解，并非在任意意義上限定本公開的權(quán)利要求書或應(yīng)用例。

發(fā)明效果

根據(jù)本公開，能夠在環(huán)境聲音等干擾作用于裝置而使試樣臺振動時，在維持使該試樣臺的振動降低的支撐部件的剛性的狀態(tài)下，賦予衰減。

附圖說明

圖1是表示實施方式的帶電粒子裝置的概略剖面結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示第一實施方式的帶電粒子裝置的衰減部的剖面結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是表示第二實施方式的帶電粒子裝置的衰減部的剖面結(jié)構(gòu)的圖。

圖4是表示第三實施方式的帶電粒子裝置的衰減部的剖面結(jié)構(gòu)的圖。

圖5是表示第四實施方式的帶電粒子裝置的衰減部的剖面結(jié)構(gòu)的圖。