[發明專利]帶電粒子束裝置

在審

• 申請號: 201880024056.7
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN110494948A
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 榎本裕久;鈴木渡;小柳宗和;羽根田茂;菊池秀樹
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;F16F7/01;F16F15/02;F16F15/04;H01J37/16
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強;金成哲<國際申請>=PCT/JP

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備：

能夠移動試樣的試樣臺；

使該試樣臺的振動衰減的衰減部；以及

容納上述試樣臺和上述衰減部的試樣室，

上述試樣臺和上述衰減部水平配置，

上述試樣臺形成被夾在上述衰減部與上述試樣室的第一側面之間而被支撐的結構，

在上述衰減部的箱體的內部填充有多個摩擦體。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述摩擦體是由金屬或陶瓷構成的部件。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部具備能夠伸縮的調整螺釘，該調整螺釘從該衰減部朝向上述試樣臺延伸，通過該調整螺釘支撐上述試樣臺。

4.根據權利要求3所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部承接上述試樣臺的振動，通過上述多個摩擦體生成針對上述振動的衰減。

5.根據權利要求4所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述調整螺釘調整上述衰減部的衰減及剛性。

6.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述試樣臺具有插入上述衰減部的內部的棒狀部，

上述衰減部具有：筒狀部件，其具有供上述摩擦體嵌合的多個孔；以及載物臺承接部件，其內置于該筒狀部件且承接上述試樣臺的上述棒狀部的前端，

嵌合于上述筒狀部件的上述多個孔的上述摩擦體與上述載物臺承接部件的承接上述棒狀部的前端的面以外的面接觸。

7.根據權利要求6所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部埋入于上述試樣室的與上述第一側面不同的第二側面的內部。

8.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部在填充上述多個摩擦體的內部空間具備臺階，通過使所填充的上述多個摩擦體的個數可變，能夠調整上述衰減部的衰減功能。

9.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部具備沿水平方向延伸的多個突起，該多個突起與所填充的上述多個摩擦體的數個接觸。

10.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部在填充上述多個摩擦體的空間具備墊板，該墊板包含具有比上述摩擦體的直徑小的直徑的多個孔，

上述多個摩擦體嵌合于上述墊板的上述多個孔而填充于上述衰減部的內部。

11.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述調整螺釘具有支撐上述試樣臺的多個支撐部。

12.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部具備：桿，其在前端具有支撐上述試樣臺的支撐部；以及調整螺釘，其在上述衰減部的箱體的與安裝有上述桿的面不同的面調整上述衰減部的衰減及剛性。

13.根據權利要求12所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述多個摩擦體填充于上述桿的側面與上述衰減部的箱體的內部側面之間，

由上述摩擦體支撐上述桿的側面。

14.根據權利要求12所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述衰減部在上述衰減部的箱體的內部具有保持上述多個摩擦體的摩擦體保持箱體，

上述摩擦體保持箱體具有使密封上述摩擦體的蓋部件可動的構造，

以在上述調整螺釘與上述摩擦體之間產生相對位移的方式，在上述調整螺釘與上述摩擦體保持箱體的供上述調整螺釘插入的孔之間設有間隙。