[發(fā)明專利]接頭塊和使用該接頭塊的流體控制裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201880021909.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110494686A | 公開（公告）日： | 2019-11-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 工藤翔太郎;堂屋英宏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社富士金 |
| 主分類號(hào)： | F16K27/00 | 分類號(hào)： | F16K27/00;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 11277 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人： | 劉新宇;張會(huì)華<國(guó)際申請(qǐng)>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 側(cè)開口部 開口部 副流路 主流路 連接流路 開口 流體控制裝置 供給流量 上游 集成化 接頭塊 上表面 流體 配置 俯視 | ||
提供一種適應(yīng)于在不減少流體的供給流量的前提下進(jìn)一步小型化、集成化的流體控制裝置的接頭塊。具有：具有上游側(cè)開口部(51d)和下游側(cè)開口部(51e)的主流路(51)、第1開口部(52c)和第2開口部(52d)在長(zhǎng)度方向上配置在上游側(cè)開口部(51d)和下游側(cè)開口部(51e)之間的副流路(52A、52B)、以及一端部與主流路(51)連接而另一端部在上表面開口且具有在長(zhǎng)度方向上在副流路(52B)的第2開口部(52d)與下游側(cè)開口部(51e)之間開口的開口部(53a)的連接流路(53)，主流路(51)配置為在俯視時(shí)局部與副流路(52A、52B)和連接流路(53)重疊。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種接頭塊和使用該接頭塊的流體控制裝置。
背景技術(shù)
例如，作為用于向半導(dǎo)體制造裝置等的處理室供給各種氣體的流體控制裝置，公知有對(duì)比文件1所公開的流體控制裝置。
在對(duì)比文件1所公開的流體控制裝置中，在共通的板上排列有自上游側(cè)朝向下游側(cè)延伸的多個(gè)工藝氣體組件50、52、54、56、58，而且，在工藝氣體組件58的旁邊配置有吹掃氣體組件60。吹掃氣體組件60發(fā)揮根據(jù)需要向工藝氣體組件的氣體流路供給吹掃氣體的作用。
專利文獻(xiàn)1：日本特表2001-521120號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
在上述那樣的流體控制裝置的情況下，必須包括聯(lián)鎖(日文：インタロック)、即安全裝置。在專利文獻(xiàn)1中，在多個(gè)工藝氣體組件的上游側(cè)設(shè)有手動(dòng)閥130，在吹掃氣體組件的上游側(cè)設(shè)有手動(dòng)閥176，分別與手動(dòng)閥130、176的下游側(cè)相鄰地設(shè)有自動(dòng)閥134、280。
另外，在上述那樣的流體控制裝置的領(lǐng)域中，各種氣體的供給控制被期望具有更高的響應(yīng)性，為此，需要使流體控制裝置盡可能小型化、集成化，更靠近作為氣體供給目的地的處理室地設(shè)置。
并且，隨著半導(dǎo)體晶圓的大口徑化等處理對(duì)象物的大型化，需要與此相應(yīng)地使自流體控制裝置向處理室內(nèi)供給的流體的供給流量也增大。
如果單純地使流體控制裝置小型化，則流體流路的截面積也會(huì)變小，供給流量也會(huì)減少。
本發(fā)明的一目的在于提供一種適合使流體控制裝置小型化的接頭塊。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種利用上述接頭塊在不減少流體的供給流量的前提下進(jìn)一步小型化、集成化的流體控制裝置。
本發(fā)明的又另一目的在于提供一種使用了上述流體控制裝置的半導(dǎo)體制造方法和半導(dǎo)體制造裝置。
本發(fā)明的接頭塊劃分有彼此相對(duì)的上表面和底面、自所述上表面朝向所述底面?zhèn)妊由斓膫?cè)面，其中，
該接頭塊具有：
主流路，其具有在所述接頭塊內(nèi)自長(zhǎng)度方向上的一端側(cè)朝向另一端側(cè)延伸的流路以及在所述上表面上在一端側(cè)開口的一端側(cè)開口部和在另一端側(cè)開口的另一端側(cè)開口部；
副流路，其具有在所述接頭塊內(nèi)自長(zhǎng)度方向上的一端側(cè)朝向另一端側(cè)延伸的流路以及在所述上表面上在一端側(cè)開口的第1開口部和在下游側(cè)開口的第2開口部，所述第1開口部和第2開口部在所述長(zhǎng)度方向上配置在所述一端側(cè)開口部和所述另一端側(cè)開口部之間；以及
連接流路，其一端部與所述主流路連接，另一端部在所述上表面開口，并且，具有在所述長(zhǎng)度方向上在所述副流路的所述第2開口部與所述主流路的所述另一端側(cè)開口部之間開口的第3開口部，
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