[發明專利]工件的切斷方法

有效

• 申請號: 201880021867.1
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN110461543B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 豐田史朗
• 申請（專利權）人: 信越半導體株式會社
• 主分類號: B24B53/00
• 分類號: B24B53/00;B24B27/06;H01L21/304;B28D5/04
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

本發明提供一種工件的切斷方法，該方法通過線鋸進行，在線鋸中，將表面固定有磨粒的固定磨粒鋼線通過卷繞于多個帶溝滾筒以形成鋼線列，固定磨粒鋼線從一組的卷線器中的其中一個卷線器送出并被卷取至另一個卷線器，通過使固定磨粒鋼線沿軸向往復移動，并且將工件向鋼線列切入進給，而將工件在沿軸向排列的多個位置同時切斷，其特征在于，在開始切斷工件之前進行磨粒磨損步驟，其中，該磨粒磨損步驟通過進行不伴隨工件的切斷的固定磨粒鋼線的移動，從而在卷線器內使固定磨粒鋼線彼此互相磨擦，而對固定磨粒鋼線的表面進行修整，并且在該磨粒磨損步驟中，對所述固定磨粒鋼線的表面進行30分鐘以上的修整。

技術領域

本發明涉及一種工件的切斷方法。

背景技術

目前，作為從例如硅鑄塊、化合物半導體鑄塊等工件切出晶圓的裝置，已知具備在表面固定有磨粒的固定磨粒鋼線的線鋸。對于該固定磨粒方式的線鋸，通過在多個滾輪的周圍卷繞多個切斷用的固定磨粒鋼線以形成鋼線列，并通過在軸向上高速驅動該固定磨粒鋼線，且適當供給加工液并且將工件相對于鋼線列切入進給，從而該工件在各鋼線位置被同時切斷。

這里，圖4顯示使用一般的固定磨粒鋼線的線鋸的一例。如圖4所示，該固定磨粒方式的線鋸101主要由：在鋼線(高張力鋼線)的表面固定有磨粒并用于切斷工件W的固定磨粒鋼線102、固定磨粒鋼線102所卷繞的帶溝滾輪103、帶溝滾輪103’、由卷繞于帶溝滾輪103的固定磨粒鋼線102所構成的鋼線列111、用于賦予固定磨粒鋼線102張力的機構104、機構104’、將所切斷的工件W向下方送出的裝置105、以及在切斷時供給冷卻液109(也稱為冷卻劑)的機構106所構成。

固定磨粒鋼線102被從一端的卷線器107送出，經過張力賦予機構104進入帶溝滾輪103。固定磨粒鋼線102在卷繞帶溝滾輪103、帶溝滾輪103’300至400圈之后，經過另一端的張力賦予機構104’被卷取至卷線器107’。

另外，帶溝滾輪103及帶溝滾輪103’是在鋼鐵制圓筒的周圍壓入聚氨酯樹脂，并在其表面以固定間距切出溝的滾輪，所卷繞的固定磨粒鋼線102，藉由驅動用馬達110而能夠以所預定的周期于往復方向驅動。

另外，在切斷工件W時，工件W由工件輸送構件105保持并被相對地壓下，向卷繞于帶溝滾輪103及帶溝滾輪103’的固定磨粒鋼線102所構成的鋼線列111送出。此時，使用鋼線張力賦予機構104對固定磨粒鋼線102施加適當的張力，利用驅動用馬達110使固定磨粒鋼線102在往復方向移動并且經由噴嘴108供給冷卻液109，并通過工件輸送構件105將工件W切入進給，從而將工件W切斷為晶圓狀。另外，工件W的切斷結束后，使切斷完成的工件在與切斷時相反的方向上相對移動，而從鋼線列111抽出切斷完成的工件。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-95993號公報

專利文獻2：日本特開平11-28654號公報

發明內容

(一)要解決的技術問題

在如上所述的固定磨粒方式的線鋸中，在工件切斷開始時，由于固定磨粒鋼線的表面的磨粒的初期磨損大，并且因磨粒的鋒利度并不充分而鋼線在工件的軸向振動，從而會有切割開始部分的晶圓厚度變薄，晶圓的厚度變化(TTV：Total Thickness Variation，總厚度變化)增大的問題。為了抑制切斷時的固定磨粒鋼線的初期磨損，確保充分的鋒利度而實現良好的晶圓質量，需要對切斷開始前的固定磨粒鋼線進行適當的修整(整形)。

作為切斷開始前對固定磨粒鋼線進行修整的方法，已知有在線鋸裝置內導入電解槽而通過導電性液所進行的電解反應以進行修整的方法(專利文獻1)、在線鋸裝置內內置修整石而進行修整的方法(專利文獻2)。但是，上述專利文獻1、2的方法需要重新設計線鋸，或是需要改造現有的線鋸，并不容易對應。因此，現有技術有成本提高，無法簡單實施等問題。