[發(fā)明專(zhuān)利]工件的切斷方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880021867.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110461543B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 豐田史朗
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 信越半導(dǎo)體株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B24B53/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B53/00;B24B27/06;H01L21/304;B28D5/04
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

1.一種工件的切斷方法，所述方法通過(guò)線鋸進(jìn)行，在所述線鋸中，將表面固定有磨粒的固定磨粒鋼線通過(guò)卷繞于多個(gè)帶溝滾筒以形成鋼線列，所述固定磨粒鋼線從一組的卷線器中的其中一個(gè)卷線器送出并被卷取至另一個(gè)卷線器，通過(guò)使所述固定磨粒鋼線沿所述固定磨粒鋼線的軸向往復(fù)移動(dòng)，并且將工件向所述鋼線列切入進(jìn)給，而將所述工件在沿所述工件的軸向排列的多個(gè)位置同時(shí)切斷，其特征在于，

在開(kāi)始切斷所述工件之前進(jìn)行磨粒磨損步驟，其中，所述磨粒磨損步驟通過(guò)進(jìn)行不伴隨所述工件的切斷的所述固定磨粒鋼線的移動(dòng)，從而在所述卷線器內(nèi)使所述固定磨粒鋼線彼此互相磨擦，而對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行修整，并且在所述磨粒磨損步驟中，對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行30分鐘以上的修整。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件的切斷方法，其特征在于，

在所述磨粒磨損步驟中，在對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行修整時(shí)，設(shè)定所述固定磨粒鋼線對(duì)所述卷線器的卷繞張力在15N以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件的切斷方法，其特征在于，

在所述磨粒磨損步驟中，在對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行修整時(shí)，對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行60分鐘以上的修整。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件的切斷方法，其特征在于，

在所述磨粒磨損步驟中，在對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行修整時(shí)，對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行60分鐘以上的修整。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的工件的切斷方法，其特征在于，

在所述磨粒磨損步驟中，在對(duì)所述固定磨粒鋼線的表面進(jìn)行修整時(shí)，通過(guò)調(diào)整所述固定磨粒鋼線的往復(fù)移動(dòng)的鋼線移動(dòng)量及循環(huán)時(shí)間，而對(duì)將所述工件從所述工件的開(kāi)始切斷點(diǎn)至所述工件的直徑的20％以上的距離為止進(jìn)行切斷所需要的長(zhǎng)度的所述固定磨粒鋼線進(jìn)行修整。