[發(fā)明專(zhuān)利]自動(dòng)加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880020177.4
• 申請(qǐng)日: 2018-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110494733B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 酉川翔太
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N1/28
• 分類(lèi)號(hào): G01N1/28;G01N1/32;G01N23/2202;H01J37/317
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黃志堅(jiān);崔成哲

1.一種自動(dòng)加工裝置，其通過(guò)對(duì)具有同一構(gòu)造重復(fù)出現(xiàn)的重復(fù)構(gòu)造的試樣照射帶電粒子束而從該試樣制作試樣片，其中，

該自動(dòng)加工裝置具有：

構(gòu)造信息取得部，其取得表示加工前的試樣的構(gòu)造的構(gòu)造信息，該構(gòu)造信息是對(duì)加工前的所述試樣的所述重復(fù)構(gòu)造進(jìn)行拍攝而得到的圖像；

加工結(jié)束位置取得部，其取得指定加工的結(jié)束位置的結(jié)束位置指定信息，該結(jié)束位置指定信息是表示所述試樣的所述重復(fù)構(gòu)造的重復(fù)數(shù)的信息；

圖像取得部，其取得加工面圖像，該加工面圖像是通過(guò)對(duì)在所述試樣的被照射了帶電粒子束的位置處出現(xiàn)的加工面進(jìn)行拍攝而得到的；以及

判定部，其根據(jù)由所述構(gòu)造信息取得部取得的對(duì)加工前的所述試樣進(jìn)行拍攝而得到的圖像所示的所述重復(fù)構(gòu)造的重復(fù)數(shù)與由所述圖像取得部取得的所述加工面圖像所示的所述重復(fù)構(gòu)造的重復(fù)數(shù)的比較，判定基于帶電粒子束的加工位置是否到達(dá)了所述結(jié)束位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)加工裝置，其中，

所述判定部根據(jù)對(duì)加工前的所述試樣進(jìn)行拍攝而得到的圖像所示的所述重復(fù)構(gòu)造的重復(fù)數(shù)與所述加工面圖像所示的所述重復(fù)構(gòu)造的剩余數(shù)的比較，判定基于帶電粒子束的加工位置是否到達(dá)了所述結(jié)束位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)加工裝置，其中，

所述判定部根據(jù)對(duì)加工前的所述試樣進(jìn)行拍攝而得到的圖像所示的所述重復(fù)構(gòu)造的重復(fù)數(shù)與在加工過(guò)程中在所述加工面圖像依次出現(xiàn)的所述重復(fù)構(gòu)造的變化數(shù)的比較，判定基于帶電粒子束的加工位置是否到達(dá)了所述結(jié)束位置。