[發明專利]研磨用組合物有效
| 申請號： | 201880020117.2 | 申請日： | 2018-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN110431210B | 公開（公告）日： | 2022-09-20 |
| 發明（設計）人： | 伊藤康昭;織田博之;野口直人 | 申請（專利權）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨用組合物，其用于研磨對象物的研磨，
所述研磨用組合物包含水、氧化劑和研磨促進劑，且不含磨粒，
所述研磨促進劑包含堿土金屬鹽，
所述研磨對象物的構成材料具有1500Hv以上的維氏硬度，
所述研磨用組合物中的所述金屬鹽的濃度C1[摩爾/L]與所述氧化劑的濃度C2[摩爾/L]之比(C1/C2)為0.01以上且小于1的范圍內，
所述氧化劑包含復合金屬氧化物，
所述金屬鹽是通過強酸與強堿的中和而生成的正鹽。
2.根據權利要求1所述的研磨用組合物，其pH為5.5以上。
3.根據權利要求1或2所述的研磨用組合物，其中，所述研磨對象物的構成材料為碳化硅。
4.一種研磨方法，其包括對研磨對象物供給權利要求1～3中任一項所述的研磨用組合物來研磨該研磨對象物。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于福吉米株式會社，未經福吉米株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201880020117.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
