[發(fā)明專利]真空泵的排氣系統(tǒng)、裝備于真空泵的排氣系統(tǒng)的真空泵、吹掃氣體供給裝置、溫度傳感器單元及真空泵的排氣方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880015710.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-02
• 公開（公告）號(hào): CN110366640B
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樺澤剛志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04C25/02
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;傅永霄

1.一種真空泵的排氣系統(tǒng)，具備：

真空泵，在吹掃氣體流路，配設(shè)有測(cè)量旋轉(zhuǎn)部的溫度的溫度傳感器單元；

吹掃氣體儲(chǔ)存裝置，儲(chǔ)存由所述真空泵利用的吹掃氣體；以及

吹掃氣體供給裝置，將儲(chǔ)存在所述吹掃氣體儲(chǔ)存裝置中的所述吹掃氣體向所述真空泵供給，調(diào)整所述吹掃氣體的流量；

其特征在于，

至少在所述溫度傳感器單元測(cè)量所述旋轉(zhuǎn)部的所述溫度時(shí)，所述吹掃氣體供給裝置增加所述吹掃氣體的前述流量，

將滿足以下某一方的條件的所述吹掃氣體向所述真空泵供給：

在比所述溫度傳感器單元靠下游側(cè)的至少一部分、所述吹掃氣體的流速比由所述真空泵排氣的排氣氣體倒流的流速快的量；

或在所述溫度傳感器單元周圍、所述吹掃氣體的壓力成為中間流或粘性流的量。

2.如權(quán)利要求1所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

通過將所述溫度傳感器單元周圍的所述吹掃氣體的平均自由行程比所述溫度傳感器單元與所述旋轉(zhuǎn)部的距離小的量的所述吹掃氣體向所述真空泵供給，使向所述真空泵供給的所述吹掃氣體的所述壓力成為中間流或粘性流。

3.如權(quán)利要求1所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述真空泵具備：定子柱，收容使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的電裝部；以及基座，將所述定子柱固定；

通過所述定子柱在所述吹掃氣體流路的比所述溫度傳感器單元靠下游側(cè)的至少一部分具備外徑比所述基座大的節(jié)流部，將流速比由所述真空泵排氣的所述排氣氣體倒流的流速快的所述吹掃氣體向所述真空泵供給。

4.如權(quán)利要求1所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述真空泵具備：定子柱，收容使所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)的電裝部；以及基座，將所述定子柱固定；

通過所述基座在所述吹掃氣體流路的比所述溫度傳感器單元靠下游側(cè)的至少一部分具備外徑比所述定子柱大的節(jié)流部，將流速比由所述真空泵排氣的所述排氣氣體倒流的流速快的所述吹掃氣體向所述真空泵供給。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述吹掃氣體供給裝置能夠?qū)⑾蛩稣婵毡霉┙o的所述吹掃氣體的所述流量以由所述溫度傳感器單元進(jìn)行的溫度測(cè)量時(shí)和其以外的至少兩種進(jìn)行設(shè)定。

6.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述溫度傳感器單元具備：

受熱部，與所述旋轉(zhuǎn)部對(duì)置；

絕熱部，支承所述受熱部；

安裝部，將所述絕熱部安裝于所述真空泵；以及

第1溫度傳感器，被固定在所述受熱部。

7.如權(quán)利要求6所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述溫度傳感器單元的所述受熱部和所述絕熱部被一體成型。

8.如權(quán)利要求6所述的真空泵的排氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述溫度傳感器單元在所述絕熱部、所述安裝部或安裝所述溫度傳感器單元的零件具備第2溫度傳感器；

根據(jù)所述第1溫度傳感器和所述第2溫度傳感器的溫度差測(cè)量所述旋轉(zhuǎn)部的所述溫度。

9.一種真空泵，其特征在于，

裝備于權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)。

10.一種吹掃氣體供給裝置，其特征在于，

裝備于權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)。

11.一種溫度傳感器單元，其特征在于，

裝備于權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)。

12.一種真空泵的排氣方法，其特征在于，

在權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的真空泵的排氣系統(tǒng)中，

至少在所述溫度傳感器單元測(cè)量所述旋轉(zhuǎn)部的所述溫度時(shí)，在所述溫度傳感器單元周圍，將滿足以下某一方的條件的所述吹掃氣體向所述真空泵供給：

所述吹掃氣體的流速比由所述真空泵排氣的排氣氣體倒流的流速快的量；或所述吹掃氣體的壓力成為中間流或粘性流的量。