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[發(fā)明專利]高純度電解銅有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201880015294.1 申請(qǐng)日: 2018-06-01
公開(公告)號(hào): CN110382743B 公開(公告)日: 2022-04-08
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 樽谷圭榮;久保田賢治;中矢清隆;荒井公 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 三菱綜合材料株式會(huì)社
主分類號(hào): C25C1/12 分類號(hào): C25C1/12
代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 代理人: 刁興利;康泉
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 暫無(wú)信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 純度 電解銅
【權(quán)利要求書】:

1.一種高純度電解銅,其特征在于,

除氣體成分O、F、S、C、Cl以外的Cu的純度為99.99999質(zhì)量%以上,且S的含量為0.1質(zhì)量ppm以下,

在沿厚度方向的截面上通過(guò)電子背散射衍射進(jìn)行了晶體取向測(cè)定的結(jié)果,具有(101)±10°的面取向的晶體的面積率為5%以上且小于40%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度電解銅,其特征在于,

在沿厚度方向的截面上通過(guò)電子背散射衍射進(jìn)行了晶體取向測(cè)定的結(jié)果,具有(111)±10°的面取向的晶體的面積率小于15%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度電解銅,其特征在于,

在沿厚度方向的截面上,以晶粒的長(zhǎng)軸a和與該長(zhǎng)軸a正交的短軸b表示的縱橫比b/a小于0.33的晶粒的面積率小于40%。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高純度電解銅,其特征在于,

在沿厚度方向的截面上,以晶粒的長(zhǎng)軸a和與該長(zhǎng)軸a正交的短軸b表示的縱橫比b/a小于0.33的晶粒的面積率小于40%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的高純度電解銅,其特征在于,

S的含量為0.02質(zhì)量ppm以下。

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