[發(fā)明專利]高純度電解銅有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201880015294.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-06-01 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110382743B | 公開(公告)日: | 2022-04-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 樽谷圭榮;久保田賢治;中矢清隆;荒井公 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三菱綜合材料株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | C25C1/12 | 分類號(hào): | C25C1/12 |
| 代理公司: | 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁興利;康泉 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 純度 電解銅 | ||
1.一種高純度電解銅,其特征在于,
除氣體成分O、F、S、C、Cl以外的Cu的純度為99.99999質(zhì)量%以上,且S的含量為0.1質(zhì)量ppm以下,
在沿厚度方向的截面上通過(guò)電子背散射衍射進(jìn)行了晶體取向測(cè)定的結(jié)果,具有(101)±10°的面取向的晶體的面積率為5%以上且小于40%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度電解銅,其特征在于,
在沿厚度方向的截面上通過(guò)電子背散射衍射進(jìn)行了晶體取向測(cè)定的結(jié)果,具有(111)±10°的面取向的晶體的面積率小于15%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度電解銅,其特征在于,
在沿厚度方向的截面上,以晶粒的長(zhǎng)軸a和與該長(zhǎng)軸a正交的短軸b表示的縱橫比b/a小于0.33的晶粒的面積率小于40%。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高純度電解銅,其特征在于,
在沿厚度方向的截面上,以晶粒的長(zhǎng)軸a和與該長(zhǎng)軸a正交的短軸b表示的縱橫比b/a小于0.33的晶粒的面積率小于40%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的高純度電解銅,其特征在于,
S的含量為0.02質(zhì)量ppm以下。
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