[發明專利]基板收納處理裝置、基板收納處理方法以及記錄介質

有效

• 申請號: 201880013506.2
• 申請日: 2018-02-15
• 公開（公告）號: CN110326098B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 松本昭博;松下道明;村田晃;田代稔
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G49/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種基板收納處理裝置，具備：

載置部，其用于配置盒，所述盒用于收納基板，并且所述盒具有開口部和以相對于該開口部可裝卸的方式裝設于該開口部的蓋；

蓋裝卸機構，其進行所述蓋相對于被配置在所述載置部的所述盒的所述開口部的裝卸，并且所述蓋裝卸機構設置為能夠在與被配置在所述開口部的位置的所述蓋接觸的裝設位置和不與被配置在所述開口部的位置的所述蓋接觸的退避位置之間移動；

蓋保持傳感器部，其用于探測是否由所述蓋裝卸機構保持著所述蓋；以及

控制部，其基于所述蓋保持傳感器部的探測結果來判定有無與所述蓋的裝卸有關的異常，

其中，所述蓋保持傳感器部具有：異常檢測傳感器，其探測在所述裝設位置與所述退避位置之間的特定的位置處有無物體；以及關閉傳感器，其探測所述蓋裝卸機構的有無，并且所述關閉傳感器探測被配置在所述裝設位置的所述蓋裝卸機構，但不探測被配置在所述退避位置的所述蓋裝卸機構，

所述控制部基于所述異常檢測傳感器和所述關閉傳感器的探測結果來判定所述異常的有無。

2.根據權利要求1所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述蓋裝卸機構具有保持部，所述保持部通過吸引來保持所述蓋，

所述蓋保持傳感器部具有吸引壓傳感器，所述吸引壓傳感器測量在所述保持部保持所述蓋時作用于該蓋的吸引壓，

所述控制部基于所述吸引壓傳感器的測量結果來判定所述異常的有無。

3.根據權利要求2所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述吸引壓傳感器在所述蓋裝卸機構被配置在所述裝設位置以外的位置的狀態下測量所述吸引壓，

所述控制部基于根據所述吸引壓傳感器的測量結果導出的所述蓋裝卸機構是否保持著所述蓋的估計來判定所述異常的有無。

4.根據權利要求1所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述控制部在所述蓋裝卸機構從所述退避位置朝向所述裝設位置移動時，基于所述異常檢測傳感器在所述特定的位置探測到物體的定時與所述關閉傳感器探測到所述蓋裝卸機構的定時的時間差來判定所述異常的有無。

5.根據權利要求1所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述控制部在所述蓋裝卸機構從所述裝設位置朝向所述退避位置移動時，基于所述關閉傳感器探測不到所述蓋裝卸機構的定時與所述異常檢測傳感器在所述特定的位置探測不到物體的定時的時間差來判定所述異常的有無。

6.根據權利要求1至5中的任一項所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述蓋保持傳感器部具有蓋探測傳感器，所述蓋探測傳感器探測由被配置在所述退避位置的所述蓋裝卸機構所保持的所述蓋，

所述控制部基于所述蓋探測傳感器的探測結果來判定所述異常的有無。

7.一種基板收納處理裝置，具備：

載置部，其用于配置盒，所述盒用于收納基板，并且所述盒具有開口部和以相對于該開口部可裝卸的方式裝設于該開口部的蓋；

蓋裝卸機構，其進行所述蓋相對于被配置在所述載置部的所述盒的所述開口部的裝卸，并且所述蓋裝卸機構設置為能夠在與被配置在所述開口部的位置的所述蓋接觸的裝設位置和不與被配置在所述開口部的位置的所述蓋接觸的退避位置之間移動；

蓋保持傳感器部，其用于探測是否由所述蓋裝卸機構保持著所述蓋；以及

控制部，其基于所述蓋保持傳感器部的探測結果來判定有無與所述蓋的裝卸有關的異常，

其中，所述蓋保持傳感器部具有重量傳感器，所述重量傳感器測量被配置在所述載置部的所述盒的重量，

所述控制部基于所述重量傳感器的測量結果來判定所述異常的有無。

8.根據權利要求7所述的基板收納處理裝置，其特征在于，

所述蓋保持傳感器部具有蓋探測傳感器，所述蓋探測傳感器探測由被配置在所述退避位置的所述蓋裝卸機構所保持的所述蓋，

所述控制部基于所述蓋探測傳感器的探測結果來判定所述異常的有無。