[發明專利]橋式輸送車有效
| 申請號: | 201880013301.4 | 申請日: | 2018-02-13 |
| 公開(公告)號: | CN110326097B | 公開(公告)日: | 2023-03-03 |
| 發明(設計)人: | 小林誠 | 申請(專利權)人: | 村田機械株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G49/07 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 輸送 | ||
1.一種橋式輸送車,具備:
行駛部,沿著行駛軌道行駛;
升降部,設置于上述行駛部;
保持部,通過上述升降部而升降,保持容器所具有的凸緣部;
定位部,相對于上述保持部升降自如,且與形成于上述凸緣部的凹部嵌合;
檢測部,檢測上述定位部相對于上述保持部的相對性上升動作;
控制部,在通過上述升降部使上述保持部下降的情況下,在由上述檢測部檢測到上述上升動作時,識別出上述容器配置在移載目的地的載放面上的情況;以及
軋頭,與上述定位部相對于上述保持部的相對性升降動作連動地升降自如,
上述檢測部檢測上述軋頭的位置,
上述軋頭包括具有第1上端和第1下端的第1遮光板、以及具有第2上端和第2下端的第2遮光板,
上述檢測部包括檢測上述第1遮光板的位置的第1光斷續器、以及檢測上述第2遮光板的位置的第2光斷續器,
上述第1下端和上述第2上端位于相同高度,
上述第1光斷續器的光軸以及上述第2光斷續器的光軸位于相同高度。
2.如權利要求1所述的橋式輸送車,其中,
上述控制部為,在通過上述升降部使上述保持部進一步下降的情況下,在由上述檢測部檢測到進一步的上述上升動作時,識別出上述保持部到達了保持位置的情況。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





