[發明專利]用于噴濺裝置的基材支撐體

有效

• 申請號: 201880011700.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN110325663B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 歐陽煦;潘業光
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50;H01J37/34;H01L21/673;H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 徐鑫;項丹

噴濺裝置和方法包括室、布置在室內的靶和布置在室內的基材支撐體，所述基材支撐體包括基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成的至少一部分?；闹误w可以包括載具和用于裝納基材的裝置器。在一些實施方式中，至少載具的面朝靶的表面基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。在一些實施方式中，裝置器基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。噴濺裝置可以是鼓式噴濺裝置。噴濺方法可以是磁控噴濺方法。

技術背景

相關申請的交叉引用

本申請根據35 U.S.C.§119，要求2017年02月13日提交的美國臨時申請系列第62/458,207號的優先權，本文以該申請為基礎并將其全文通過引用結合于此。

技術領域

本公開涉及基材(例如玻璃基材，例如覆蓋玻璃)的噴濺涂層。具體來說，本公開涉及用于將基材裝納在噴濺裝置(例如，鼓式噴濺裝置)中的基材支撐體。

背景技術

噴濺沉積是用于在基材上沉積材料薄膜的物理氣相沉積(PVD)方法。噴濺涉及從靶(源)將材料噴射到基材(例如玻璃基材)上。

玻璃制品(例如覆蓋玻璃，例如用于手機的覆蓋玻璃)的制造可以具有一種或多種表面處理，以增強其功能和為終端用戶提供積極的體驗。例如，覆蓋玻璃可以涂覆一層或多層涂層，以提供所需的特性。此類涂層包括減反射涂層、易清潔涂層和耐劃痕涂層。可以采用噴濺工藝將這些涂層施涂到覆蓋玻璃的表面上。用于沉積這些涂層的噴濺工藝應該產生提供所需特性的均勻且無缺陷的涂層。

因此，需要不斷革新用于玻璃制品的涂層以及將這些涂層沉積到玻璃制品表面上的方法。

發明內容

本公開涉及用于在噴濺裝置內裝納一個或多個基材的基材支撐體，以及包括這些基材支撐體中的一個或多個的噴濺裝置。

一些實施方式涉及噴濺裝置，其包括：室；布置在室內的靶；轉鼓，其包括布置在室內的鼓框架；和基材支撐體，其包括連接到鼓框架的載具和用于裝納基材的裝置器，所述裝置器連接到載具的面朝靶的表面，以及其中，至少載具的面朝靶的表面基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

在一些實施方式中，根據前述段落實施方式的噴濺裝置可以包括載具，其包括連接到載具的面朝靶的表面的夾具，用于將裝置器夾在載具上。在一些實施方式中，夾具可以基本由非含鋁且非磁性材料構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式還可以包括裝置器，所述裝置器基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括載具，所述載具基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括基材支撐體，所述基材支撐體基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括載具，其中，至少載具的面朝靶的表面基本由不銹鋼316構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括基材支撐體，其中，至少90體積％的基材支撐體基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括載具，所述載具包括限定了載具的面朝靶的表面的板。在一些實施方式中，板可以是中空板，和/或板可以基本由不具有磁荷的不銹鋼316構成。在一些實施方式中，可以通過在600攝氏度至1400攝氏度的溫度范圍對不銹鋼進行熱處理來去除磁荷。

在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括裝置器，其包括底板和連接到底板的頂板，用于在它們之間夾住基材，以及頂板和底板基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。在一些實施方式中，任意前述段落實施方式可以包括裝置器，其包括真空板，所述真空板具有多個通孔和布置在真空板的頂表面的一部分上的雙面粘合劑層，用于與基材粘附，以及真空板基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。